我们的服务包括以下内容。
- 现场故障排除
- 现场升级服务
- 在线支持
- 机器和子系统的大修和翻新，即Genmark机器人、Isel机器人和Frogleg机器人，单一工艺模块，如加热板、冷却板、涂层站等。
- 电气、机械和气动元件的零件维修
- 安装和拆除服务
- 工艺设备的搬迁服务
- 过程支持和优化
- 源头检查
- 升级
- 我们还能够提供KLA 21xx支持和备件方面的专家服务。
关于我们
备件、服务和升级
APEX半导体有限公司是一家为半导体行业提供服务和解决方案的公司。我们在全球范围内维修和服务、升级或优化光刻机。
自1999年8月以来，我们支持来自已不存在的原始设备制造商的各种照片设备（即Convac-Fairchild、B.L.E.实验室设备、SSE（姐妹半导体设备）、SVG（硅谷集团）、ATMsse、APT（Convac）或原始设备制造商因系统老化而停止支持。
对于各种型号的产品，我们提供以下服务和备件。
- Karl Suss ACS 200 Classic, 涂布机, 显影机, 热板, 冷却板 , VPO轨道
- 卡尔-苏斯RC8独立式涂层机，热板工具
- Suss Microtec Gamma 60和80，ACS 200+，Delta涂层机，显影剂或桌面
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon涂层机，显影剂热板，冷却板，HMDS，VPO，升降机
- Convac M6000涂层机、显影剂、HMDS、热板、清洗机、升降机、蚀刻机等。
- Convac M2000涂层机、显影器轨道和所有其他手动工具
- Convac手动独立加工机
- Convac APT系统
- B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta 。
- SSE 和 ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
- SVG 90s Tracks和其他SVG工具，涂层机，显影机，热板，冷板。
- Semitek, Hamatech
- KLA 21xx
由于我们在2英寸和更小以及高达16英寸的圆形或方形基质方面的长期行业经验，我们有能力提供升级服务，在这种情况下，我们重新设计硬件而不改变软件。
我们还拥有大量的新的或旧的备件库存（400平方米）。各种旋转电机、旋转控制器（Novotron ND 21-31、Convac、Seidel WKS65、Berger Lahr、Metronix...）、Convac、SSE的CPU单元（PMA PU 104...）、Convac PCB、SVG PCB、SSE PCB等电气部件、机械部件和组件....。
如果你有一个旧的涂布机-显影机工具，而且系统有轻度的严重问题，或者你只是在寻找旧的加工机器的支持，请打电话给我们。我们在这里为您提供支持。
联系我们以获得有关光刻机的快速帮助
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