A propos de nous

Pièces de rechange, service et mises à niveau

APEX Semiconductor GmbH est un fournisseur de services et de solutions pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous réparons et entretenons, mettons à niveau ou optimisons les machines photolithographiques dans le monde entier.

Depuis août 1999, nous prenons en charge une large gamme d'équipements photographiques provenant d'équipementiers qui n'existent plus (par exemple Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) ou lorsque les équipementiers ont simplement cessé de les prendre en charge en raison de l'âge des systèmes.

Pour une large gamme de modèles, nous fournissons les services et les pièces de rechange suivants :

Karl Suss ACS 200 Classic, Coucheuse, Développeur, Plaque chauffante, Plaque de refroidissement, Pistes VPO
Karl Suss RC8 coucheuse autonome, outils de plaque chauffante
Suss Microtec Gamma 60 et 80, ACS 200+, Delta Coater, Developer ou Table Top
Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Developer Hotplate, Coolplate, HMDS, VPO, Lift-Off
Convac M6000 Coucheuse, Développeur, HMDS, Plaque chauffante, Nettoyeur, Lift Off, Etcheur etc.
Convac M2000 Coater, chenilles de développement et tous les autres outils manuels
Convac manual standalone process machines
Systèmes APT Convac
B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
SSE et ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
SVG 90s Tracks et autres outils SVG, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
Semitek, Hamatech
KLA 21xx

Nos services comprennent les éléments suivants :

Dépannage sur place
Service d'escalade sur place
Assistance en ligne
Révisions et remises à neuf de machines et de sous-systèmes tels que les robots Genmark, Isel et Frogleg, les modules à processus unique comme les plaques chauffantes, les plaques de refroidissement, les stations d'enduction, etc.
Réparations de pièces pour les composants électriques, mécaniques et pneumatiques
Service d'installation et de désinstallation
Service de relocalisation des équipements de traitement
Soutien et optimisation des processus
Inspection des sources
Mises à niveau
Nous sommes également en mesure d'offrir un service spécialisé dans le support et les pièces détachées des KLA 21xx.

En raison de notre longue expérience dans l'industrie avec des substrats de 2″ et moins et jusqu'à 16″, ronds ou carrés, nous sommes capables de proposer des mises à niveau où nous redessinons le matériel sans changement de logiciel.

Nous disposons également d'un vaste stock (400 mètres carrés) de pièces détachées neuves ou d'occasion : Divers moteurs de rotation, contrôleurs de rotation (Novotron ND 21- 31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix ...), unités centrales pour Convac, SSE (PMA PU 104 ...), circuits imprimés Convac, circuits imprimés SVG, circuits imprimés SSE etc. pièces électriques, pièces mécaniques et assemblages....

Si vous disposez d'un ancien outil Coater-Developer et que le système présente des problèmes légers ou graves ou si vous recherchez simplement une assistance pour une ancienne machine de traitement, veuillez nous appeler. Nous sommes là pour vous aider.

Contactez-nous pour une aide rapide concernant vos machines photolithographiques

MARQUES OEM

SOCIÉTÉ

DEMANDE DE SOUTIEN

Contactez-nous lorsque vous avez besoin d'une assistance pour vos équipements vieillissants non pris en charge par les OEM.

Nous disposons des pièces de rechange, des outils et de l'expérience nécessaires pour tirer le meilleur parti de vos investissements.

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