Support des équipements anciens

Convac

Pièces détachées, service et mises à niveau

Depuis 1968

Plus de 3 000 machines construites jusqu’au rachat par Karl Suss en 1999.

Fabs à grand volume

Service Convac à Taïwan, en Corée et aux États-Unis.

Mises à niveau de procédé

Mises à niveau pour machines Convac existantes.

Reconditionnement

Chambres, plaques chauffantes, bras de distribution, robots et pompes.

L'histoire de Convac

Convac a été fondée en 1968 et a fabriqué plus de 3000 machines jusqu’en 1999, date à laquelle Convac a été rachetée par Karl Suss. Un bon nombre de Convac sont encore en production.

Services Convac

Nous avons assuré la maintenance de machines Convac dans des fabs à grand volume à Taïwan, en Corée et aux États-Unis.

Au fil des ans, nous sommes passés d’une société purement axée sur le service à un spécialiste des mises à niveau de procédé sur les machines existantes.

Nos autres piliers sont la remise à neuf et la reconstruction de chambres d’enduction/développement, de plaques chauffantes, de bras de distribution, de robots de manutention et de pompes à résine.

Les clients ayant des demandes spéciales pour améliorer, remettre à neuf ou réparer leur ancien Convac sont invités à nous contacter.

Réparation de spin coaters →

Équipements et projets

Enducteur Convac M2000

Lignes (tracks) enducteur-développeur M2000 ou équipements autonomes.

Lignes (tracks) enducteur-développeur-lift-off M6000

Lignes (tracks) enducteur-développeur-lift-off M6000

Lignes (tracks) enducteur-développeur Falcon

Lignes (tracks) enducteur-développeur Falcon

Entrepôt de pièces détachées APEX

Notre stock comprend diverses pièces détachées comme les contrôleurs Seidel WKs, les cartes IPD Process, les cartes Abakus pour les systèmes Falcon, les cartes Kuhnke, les alimentations Phytron, les moteurs de rotation F9, les mandrins, les plaques chauffantes, les modules d’enduction, les élévateurs, les robots Frogleg, les robots Genmark, les effecteurs terminaux. Nous réparons les anciennes cartes de commande et les contrôleurs.

Convac M6000

Convac M6000

Enducteur double Convac M6000 GaAs avec 2 plaques chauffantes et 1 plaque de refroidissement. Année de fabrication : 1993

  • Ligne (track) enducteur-développeur spéciale Convac M6000 avec 2 plaques chauffantes, empilement HMDS, 2 plaques de refroidissement,
  • 3 robots indexeurs Frogleg et 2 indexeurs pour cassettes (carriers).
  • Nous avons calibré et réglé finement cet équipement.
  • Toutes les fonctions pneumatiques étaient hors service.
  • Les mouvements étaient soit trop rapides, soit trop lents.
  • Ainsi, le système a finalement pu être remis en production.
  • Le mandrin (chuck) du développeur est conçu pour un contact par le bord uniquement, afin de garantir une face arrière parfaitement exempte de particules.
Enducteur Convac M2000

Convac M2000

  • Système Convac M2000 double ligne (track) avec plaque chauffante et plaque de refroidissement.
  • La manipulation se fait par pick-and-place (prise et dépose).
  • Le transport sur les plaques chauffantes et les plaques de refroidissement est entraîné par une courroie.
  • Systèmes à haut débit.
Convac 501

Convac 501

Enducteur manuel Convac 501 pour grands substrats avec plaque barrière d'air Bras de distribution et pompes Cybor

Nous réparons toujours ces machines
La réparation des moteurs de rotation et des contrôleurs Convac est toujours disponible.

Contact

Besoin d'un coup de main avec les équipements Convac ?

Indiquez-nous l’équipement, le défaut et vos délais. Nous répondons avec un diagnostic, les pièces disponibles et ce qu’exigerait une réparation ou une mise à niveau.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com