Service de réparation

Réparation et maintenance de spin coaters

Réparation, révision et mises à niveau de spin coaters manuels et automatiques Convac, SUSS MicroTec, B.L.E. et SSE, y compris des équipements que le fabricant ne prend plus en charge.

Moteurs de spin

Moteurs de spin et contrôleurs réparés, pièces en stock.

Chucks

Chucks à vide pour substrats ronds et carrés.

Bols et bras de distribution

Bols d’enduction et bras de distribution reconstruits.

Mises à niveau

Plaques barrière d’air et broches de levage pour substrats carrés, de 2″ à 16″.

Les spin coaters que nous prenons en charge

  • Spin coaters manuels Convac comme les 1001, 301 et 501
  • Modules d’enduction Convac M2000 et M6000
  • SUSS MicroTec RC8, Delta et Gamma
  • Spinners manuels et enducteurs Delta B.L.E.
  • SSE Opticoat pour grands substrats carrés

Moteurs de spin, contrôleurs, chucks et autres pièces proviennent de notre propre stock : de nombreuses réparations sont donc possibles rapidement.

Spin coater B.L.E. mis à niveau avec plaque barrière d’air et broches de levage pour substrats carrés

Déroulement

Comment se déroule une réparation

Diagnostic et devis

Nous évaluons la panne sur site ou d’après votre description et vous disons honnêtement ce qui vaut la peine d’être réparé.

Réparation, mise à niveau et test

Les pièces usées sont remplacées, les modules reconstruits ou mis à niveau, et le spin coater est testé.

FAQ

Questions sur la réparation de spin coaters

Quels spin coaters réparez-vous ?

Les spin coaters manuels et automatiques Convac, SUSS MicroTec, B.L.E. et SSE, y compris les modules d’enduction des lignes d’enduction/développement.

Réparez-vous les moteurs de spin et leurs contrôleurs ?

Oui. Nous réparons les moteurs de spin et leurs contrôleurs et disposons de moteurs et contrôleurs de rechange en stock, par exemple Metronix.

Mon spin coater peut-il être adapté aux substrats carrés ?

Oui. Nous installons des plaques barrière d’air, des broches de levage et des chucks pour substrats carrés. Les mises à niveau matérielles couvrent les substrats de 2″ et moins jusqu’à 16″, ronds ou carrés, sans modification logicielle.

Intervenez-vous sur site ?

Oui. Nous proposons un dépannage sur site dans le monde entier et révisons les modules dans notre atelier de Remseck am Neckar, près de Stuttgart.

Demande de réparation

Parlez-nous de votre spin coater

Indiquez-nous le fabricant, le modèle et la panne. Nous vous répondons avec un diagnostic et un devis.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com