Support des équipements anciens
SSE / ATMSSE
Pièces détachées, service et mises à niveau
Maximus 804
Lignes d’enduction/développement et lift-off pour wafers de 3″ à 8″.
Opticoat
Enduction de grands substrats carrés jusqu’à 16″ et plus.
Réparation des stations
Stations d’enduction, de développement, plaques chauffantes et de refroidissement.
Pièces obsolètes
Modules PMA, contrôleurs de spin Metronix et moteurs de spin.
Histoire de SSE
SSE conçoit, fabrique et distribue des équipements de fabrication de pointe pour les marchés des semi-conducteurs, des télécommunications/de l’optoélectronique et des écrans plats (FPD).
Grâce à une ingénierie innovante et à une connaissance approfondie du processus de fabrication des semi-conducteurs, SSE est en mesure de fournir des solutions standard et personnalisées que les autres fabricants de biens d’équipement ne peuvent pas fournir.
Les produits de SSE se répartissent en trois catégories :
- Équipement semi-automatique de traitement des plaquettes et des substrats (pour les laboratoires)
- Équipement de traitement automatisé de la résine photosensible
- Équipement de montage et de préparation des plaquettes de silicium
Services de SSE
Nous assurons le service de diverses machines SSE Sister Semiconductor Equipment GmbH / ATM SSE dans le monde entier :
- Maximus 804 : lignes (tracks) enducteur-développeur et lift-off
- Optiwet
- Opticoat
- Optihot
Nous réparons et remettons à neuf toutes les stations, comme les stations d’enduction, de développement, de plaque chauffante et de plaque de refroidissement.
Notre vaste stock de pièces détachées se compose de modules de contrôle PMA, de contrôleurs de rotation Metronix, de moteurs de rotation et d’une grande variété de pièces obsolètes.
Pages modèles : SSE Maximus 804
Projets SSE
Système enducteur-développeur Maximus 804 avec robot Genmark ou robot Isel.
Ce système est similaire au Gamma 60/80 de Suss Microtec. Le Maximus peut traiter des plaquettes de 3″ à 8″. Avec son mandrin à couvercle fermé, une meilleure uniformité sur les substrats carrés peut être obtenue.
Enducteur à bol ouvert avec bras de distribution entraîné par moteur pas à pas.
En fin de procédé, les broches de levage retransfèrent la plaquette vers l’effecteur terminal du robot.
Système développeur, graveur et nettoyeur Optiwet pour grands substrats
Chargement manuel. Bras de distribution entraînés par un moteur pas à pas.
SSE Opticoat 75
Ces machines sont destinées à l’enduction de substrats carrés jusqu’à 16″ ou plus.
La machine est équipée d’une plaque barrière d’air entraînée par un servomoteur qui se referme sur le mandrin pour obtenir de meilleurs résultats d’enduction, comparable à l’effet Gyrset de Suss Microtec.
Le bras de distribution est programmable, mais n’est pas utilisé dans la plupart des fabs.
Chambre de traitement Optiwet
Chambre de traitement Optiwet avec 2 bras de distribution et différentes buses pour l’eau DI, les produits de nettoyage ou de gravure, le N2 ou le séchage par rotation CDA. Le rinçage de la face arrière est également disponible. La gestion des effluents de l’Optiwet est également intégrée pour séparer l’eau DI et les produits de procédé.
Vidéo
SSE / ATMSSE
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