老旧设备支持
SSE / ATMSSE
备件、服务和升级
Maximus 804
适用于 3 至 8 英寸晶圆的涂胶显影及剥离轨道式系统。
Opticoat
用于 16 英寸及以上大尺寸方形基片的涂胶。
工位维修
涂胶、显影、热板和冷板工位。
停产备件
PMA 模块、Metronix 旋涂控制器和旋涂电机。
SSE的故事
SSE为半导体、电信/光电市场和平板显示器（FPD）设计、制造和分销领先的制造设备。
通过创新工程和对半导体制造工艺的透彻了解，SSE能够提供其他资本设备制造商无法提供的标准和定制解决方案。
SSE的产品分为三类：
- 半自动晶圆和基片加工设备（用于实验室）
- 自动光刻胶加工设备
- 晶圆贴膜和晶圆制备设备
SSE服务
我们在全球范围内为SSE Sister Semiconductor Equipment GmbH / ATM SSE的各类设备提供服务：
- Maximus 804涂胶显影及剥离（lift-off）轨道式系统
- Optiwet
- Opticoat
- Optihot
我们维修和翻新所有工位，如涂胶、显影、热板和冷板工位。
我们大量的备件库存包括PMA控制器模块、Metronix旋转控制器、旋转电机以及大量已停产的零件。
型号页面： SSE Maximus 804
SSE项目
Maximus 804涂胶显影系统，配备Genmark机器人或Isel机器人。
该系统与Suss Microtec的Gamma 60/80类似。Maximus可处理3英寸至8英寸的晶圆。借助其封闭盖式吸盘（Closed Cover Chuck），可在方形基片上获得更好的涂胶均匀性。
开放式胶碗涂胶机，配备步进电机驱动的滴胶臂。
工艺结束后，顶针将晶圆传回机器人的末端执行器。
适用于大尺寸基片的Optiwet显影、蚀刻、清洗系统
手动上片。步进电机驱动的滴胶臂。
SSE Opticoat 75
这些设备用于大尺寸方形基片的涂胶，尺寸可达16英寸或更大。
该设备配有伺服电机驱动的空气阻隔板，可向吸盘闭合，从而获得更好的涂胶效果，类似于Suss Microtec的Gyrset效果。
滴胶臂可编程，但在大多数晶圆厂中并未使用该功能。
Optiwet工艺室
Optiwet工艺腔配有2个滴胶臂和多种喷嘴，用于去离子水、清洗或蚀刻介质，以及N2或CDA旋转干燥。还可进行背面冲洗。Optiwet还集成了废液管理系统，可将去离子水与工艺介质分离。
视频
SSE / ATMSSE
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