SSE · ATMSSE
SSE Maximus 804 服务与备件
为 SSE / ATMSSE Maximus 804 涂胶、显影及剥离轨道式系统提供服务、工位维修与备件。
3″ 至 8″ 晶圆
涂胶、显影及剥离轨道式系统。
工位维修
涂胶、显影、热板和冷板工位。
机械手
Genmark 或 Isel 晶圆传送机械手。
停产备件
PMA 模块、Metronix 控制器、旋涂电机。
我们为 Maximus 804 提供的服务
Maximus 804 是一款配备 Genmark 或 Isel 机械手的涂胶显影系统，与 SUSS Gamma 60/80 类似。它可处理 3″ 至 8″ 的晶圆。其封闭盖式吸盘可在方形基板上实现更好的均匀性，开放式涂胶碗涂胶机配有步进电机驱动的点胶臂。工艺完成后，顶升销将晶圆交还给机械手末端执行器。
- 涂胶、显影、热板和冷板工位的维修与翻新
- Genmark 和 Isel 晶圆传送机械手的维护
- 步进电机驱动的点胶臂
- PMA 控制器模块、Metronix 旋涂控制器和旋涂电机现货供应
- 适用于方形基板的封闭盖式吸盘
SSE 现货备件
我们库存中的 SSE 和 ATMSSE 设备备件。如未列出您所需的备件，请联系我们。
FAQ
常见问题
Maximus 804 可处理哪些尺寸的晶圆？
Maximus 804 可处理 3″ 至 8″ 的晶圆。借助封闭盖式吸盘，它在方形基板上也能实现更好的均匀性。
Maximus 804 使用哪些机械手？
使用 Genmark 或 Isel 晶圆传送机械手。我们为两者提供服务，有时也可提供二手 ISEL 机械手。
你们有 SSE 设备的备件吗？
有。我们的库存包括 PMA 控制器模块、Metronix 旋涂控制器、旋涂电机以及大量停产备件。
告诉我们您的 Maximus 804 情况
请将轨道式系统配置、故障情况和您的时间要求发送给我们。我们将回复评估意见、现有库存备件及报价。