APEX半导体公司 – 德国
来自不再存在的原始设备制造商的照片设备（即Convac-Fairchild、B.L.E.实验室设备、SSE（姐妹半导体设备）、SVG（硅谷集团）、ATMsse、APT（Convac），以及原始设备制造商因系统老化而停止支持的设备。
对于各种型号的产品，我们提供以下服务和备件。
- Karl Suss ACS 200 Classic, 涂布机, 显影机, 热板, 冷却板 , VPO轨道
- Karl Suss RC8独立式涂层机，热板工具
- Suss Microtec Gamma 60和80，ACS 200+，Delta涂层机，显影剂或桌面
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon涂层机，显影剂热板，冷却板，HMDS，VPO，升降机
- Convac M6000涂层机、显影剂、HMDS、热板、清洗机、升降机、蚀刻机等。
- Convac M2000涂层机、显影器轨道和所有其他手动工具
- Convac手动独立加工机
- Convac APT系统
- B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta 。
- SSE 和 ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
- SVG 90s Tracks和其他SVG工具，涂层机，显影机，热板，冷板。
- Semitek, Hamatech
- KLA 21xx
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APEX半导体公司 – 美国
KLA-Tencor对2100系列光场工具的技术支持
KLA-Tencor 型号 21XX ISMIF, 2132, 2133, 2135, 2135XP, 2138, 2138XP, 2139, 25XX, 2552, ADC
- 工具的安装、拆除、工具的重新定位
- 系统审计、性能基线、升级前系统鉴定
- 评估、应用支持
- 预防性维护（6周PM、季度、6个月和年度PM）。
- 第3级和第4级技术支持，现场升级支持
- 2552 晶片缺陷分析
- 车站支持
- 光学器件验证
- 阶段验证和维修
- 产量数据整合和网络故障处理
- 支持的ADC处理器和管理器
- 21XX客户业务培训和
第1级 服务维修培训
第1/2级 培训包括客户操作和预防性维护培训
3级-4级 高级舞台和光学器件对准培训 仅限KLA-Tencor人员参加
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