服务
老旧光刻设备的维护、维修与升级改造
为原厂已不复存在或已停止支持的涂胶显影线及工艺设备提供现场与远程支持、备件、翻新和升级改造。
现场故障排除
我们的技术人员直接在您的工厂诊断并解决问题。
现场疑难问题支持
当问题需要资深专家时，提供现场疑难问题支持。
在线支持
远程支持，无需等待现场服务即可快速获得解答。
大修与翻新
设备及子系统的大修与翻新，例如 Genmark、Isel 和蛙腿机械手，热板、冷板和涂胶工位。
零部件维修
维修电气、机械和气动部件。
安装与拆机
工艺设备的安装与拆机服务。
设备搬迁
工艺设备搬迁服务。
工艺支持与优化
支持您的工艺并优化产线性能。
源头检验
在购买或发运前，在卖方现场对设备进行检验。
升级改造
无需更改软件的硬件升级与重新设计，适用于 2 英寸及以下至 16 英寸的圆形或方形基片。
备件
400 平方米的全新及二手备件：旋涂电机和控制器、CPU 单元、电路板以及电气和机械组件。
KLA-Tencor 21xx
为 KLA-Tencor 21xx 明场检测设备提供专业服务和备件。
始于 1999 年
原厂无法提供帮助时，我们来帮您
自 1999 年 8 月以来，APEX Semiconductor 一直为众多已不复存在的原厂光刻设备提供支持，例如 Convac-Fairchild、B.L.E. Laboratory Equipment、SSE（Sister Semiconductor Equipment）、SVG（Silicon Valley Group）、ATMsse 和 APT（Convac），也为因设备老旧而被原厂停止支持的系统提供服务。
我们通过现场服务、维修、翻新和升级改造保持这些设备的生产能力，并拥有自有的全新及二手备件库存。
服务的设备
支持的平台与型号
SUSS MicroTec / Karl Suss
- ACS 200 Classic：涂胶、显影、热板、冷板及 VPO 生产线
- RC8 独立式涂胶机和热板设备
- Gamma 60/80、ACS 200+ 和 Delta：涂胶机、显影机及台式设备
- Falcon（Fairchild / Convac / SUSS）：涂胶、显影、热板、冷板、HMDS、VPO、剥离
Convac
- M6000：涂胶、显影、HMDS、热板、清洗、剥离、刻蚀
- M2000 涂胶显影线及手动设备
- 手动独立式工艺设备
- APT 系统
B.L.E.
- Gamma、Respect、Acrobat 和 Delta
SSE / ATMsse
- Maximus 804
- Opticoat、Optiwet 和 Optihot
SVG
- SVG 90 系列生产线
- 涂胶机、显影机、热板和冷板
更多平台
- Semitek
- Hamatech
- KLA-Tencor 21xx
常见问题
常见问题
你们服务哪些设备？
Convac、SUSS MicroTec（Karl Suss）、B.L.E.、SSE/ATMsse、SVG、Semitek 和 Hamatech 的光刻设备——主要是涂胶显影线、热板、冷板及相关工艺设备——以及 KLA-Tencor 21xx 检测设备。
你们提供现场服务吗？
是的。我们在全球客户现场提供故障排除、疑难问题支持、安装、拆机和搬迁服务，并提供在线支持。
你们能为已停产的设备提供备件吗？
可以。我们拥有大量全新及二手备件库存，包括旋涂电机和控制器、CPU 单元和电路板。欢迎浏览我们的备件商店或向我们发送询价。
老旧设备可以升级吗？
可以。凭借我们在 2 英寸及以下至 16 英寸圆形或方形基片方面的经验，我们可以在不更改设备软件的情况下重新设计硬件进行升级。
你们在哪里？
我们的总部和备件仓库位于德国 Remseck。KLA-Tencor 21xx 的支持由位于美国加利福尼亚州 Stockton 的 APEX Semiconductor USA 提供。
专业服务
维修服务与二手设备
Spin Coater 维修
为 Convac、SUSS、B.L.E. 和 SSE 的 Spin Coater 提供旋涂电机、吸盘、涂胶碗维修及升级。
Wafertec 泵维修
Wafertec F30 及 Pribyl 滴胶泵的大修、维修与更换。
二手设备
翻新的 Julabo 冷水机、ISEL 机械手等。