参考项目
我们维护、翻新和升级的设备
来自 Convac、SUSS MicroTec、B.L.E.、SSE/ATMSSE 和 SVG 的涂胶显影线、旋涂设备与热处理模块——在原厂停止支持多年之后,依然稳定运行。
Convac
M2000、M6000 和 Falcon 生产线,手动及台式系统。
Karl Suss / SUSS MicroTec
Falcon、ACS 200 Plus、Gamma 60/80、Delta 和 Alta Spray;热板重建。
B.L.E. Laboratory Equipment
Gamma 60/80、Respect 600、Delta 和 Acrobat,Spin Coater 与热板。
SSE / ATMSSE
Maximus 804 生产线,Optiwet、Opticoat 和 Optihot;工位维修。
SVG 90S
SVG 90 系列生产线及库存备用模块。
Wafertec F30 计量泵
Wafertec 与 Pribyl 泵的检修与更换。
工作方式
从评估到设备恢复运行
评估
我们到现场检查设备,或根据您提供的照片和故障描述进行判断,并坦率告知哪些部分值得维修。
翻新
模块经过清洁、更换易损件并完成测试:涂胶杯、热板、喷胶臂、机械手、驱动装置和电路板。
升级与搬迁
尽可能在不改动软件的前提下进行硬件升级,并提供拆机、运输和重新安装服务。
项目实景
项目中的设备与模块






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请告诉我们设备型号、故障情况和时间安排。我们会回复评估意见、现有备件,以及维修或升级所需的工作量。