老旧设备支持

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

备件、服务和升级

始于 1949 年

由 Karl Süss 在慕尼黑创立;1999 年收购 Convac 和 Fairchild。

涂胶显影设备服务

Falcon、ACS 200、Gamma 60/80、Delta 和 RC8。

翻新

按 OEM 标准翻新模块,以及点胶臂、热板、机械手和泵。

服务合同

覆盖全球,提供在线和电话支持。

SUSS MicroTec 的发展历程

Karl Süss 于 1949 年在慕尼黑创立该公司。如今,SUSS MicroTec 提供微结构化设备和工艺解决方案,涵盖光刻、涂胶、晶圆键合和光掩模处理。

1999 年,SUSS 收购了 Convac 和 Fairchild Technologies,将其 Falcon 等涂胶显影系统纳入产品线。许多 SUSS 涂胶和显影设备,包括 Falcon、ACS 200、Gamma、Delta 和 RC8,至今仍在生产线上运行。

我们的 SUSS MicroTec 服务

我们为 SUSS MicroTec 和 Karl Suss 的涂胶显影设备提供维护、维修和翻新服务:Falcon、ACS 200 Classic 和 ACS 200 Plus、Gamma 60/80、Delta 和 RC8。

  • 全面服务与维护,全球提供服务合同
  • 按 OEM 标准翻新涂胶和显影模块
  • 重建滴胶臂、热板与冷板、机器人和泵
  • 为现有设备提供工艺升级
  • 自有库存的备件和完整模块
  • 在线和电话支持

Spin Coater 维修 →

设备与项目

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 – 80 / DELTA

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 – 80 / DELTA

我们翻新和维修Suss Microtec Falcon、ACS 200 Plus、Suss Gamma 60/80和Delta涂胶显影设备、Alta Spray等。

我们翻新、维修和重建热板与冷板,并可提供改进方案。

对于Falcon,我们提供涂胶模块或显影模块的翻新服务。此外,我们还翻新滴胶臂组件、机器人、泵等。

多年来,我们积累了大量备件以及完整模块库存。我们的库存包括Novotron旋转电机控制器、Kobold旋转电机及其他型号、PC7控制器、Lippert自动化板、Genmark备件、吸盘等。

SUSS MICROTEC GAMMA涂胶显影轨道式系统,带2个热板、1个HMDS热板和2个存储冷板

SUSS MICROTEC GAMMA涂胶显影轨道式系统,带2个热板、1个HMDS热板和2个存储冷板

  • 我们对Gamma机器进行全面的服务和维护。
  • 我们在全球范围内提供服务合同。
  • 在线服务、电话支持
  • 如果您的设备出现异常问题,请致电我们
SUSS MICROTEC ACS显影模块

SUSS MICROTEC ACS显影模块

  • 我们按照OEM标准对ACS模块进行翻新
  • 翻新时,我们会视情况更换所有接头和工艺阀门
  • 我们重建滴胶臂硬件,更换步进电机和滑轨,并对系统重新布管和重新布线。
  • 校准滴胶臂运动;使用MMC软件进行工艺测试;最终测试和预验收
Convac和SUSS Falcon模块全面翻新服务

Convac和SUSS Falcon模块全面翻新服务

  • 该Falcon显影模块已在生产中运行10多年
  • 该模块磨损严重,需要全面翻新
  • 所有阀门、管路和接头均已更换
  • 显影臂已重建,配备了新的步进电机、丝杠、滑轨和轴承。
  • 该模块经过完全拆解、去污、重建和校准。
  • MMC软件非常灵活,可将故障模块从工艺流程中移除,使Falcon的其余部分继续保持生产。
Falcon 显影模块全面翻新

Falcon 显影模块全面翻新

将模块按不同装配组完全拆解。准备更换电缆、管路和阀门。拆下电气部件组件和气动组件。将模块拆至空壳,以便进行清洁和去污。

Karl Suss ACS 200 Classic

Karl Suss ACS 200 Classic

我们翻新和维修Karl Suss ACS 200 Classic轨道式系统和独立式RC8设备。

多年来,我们积累了大量的备件和模块,如RC8涂胶、显影、HCV和MHU模块。

我们翻新和重建热板与冷板,并可提供改进方案。

视频

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

联系我们

需要SUSS MICROTEC设备方面的帮助吗?

请告诉我们设备型号、故障情况和时间安排。我们会回复评估意见、现有备件,以及维修或升级所需的工作量。

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com