Support für Altanlagen

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

Ersatzteile, Service und Upgrades

Seit 1949

Von Karl Süss in München gegründet; übernahm 1999 Convac und Fairchild.

Service für Belacker/Entwickler

Falcon, ACS 200, Gamma 60/80, Delta und RC8.

Aufbereitung

Module nach OEM-Standard, dazu Dispense-Arme, Hotplates, Roboter und Pumpen.

Serviceverträge

Weltweit, mit Online- und Telefon-Support.

Geschichte von SUSS MicroTec

Karl Süss gründete das Unternehmen 1949 in München. Heute liefert SUSS MicroTec Anlagen und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung, darunter Lithografie, Belackung, Wafer-Bonding und Fotomaskenbearbeitung.

1999 übernahm SUSS die Firmen Convac und Fairchild Technologies und erweiterte sein Angebot um deren Belacker-/Entwicklersysteme wie den Falcon. Viele SUSS-Belackungs- und Entwickleranlagen, darunter Falcon, ACS 200, Gamma, Delta und RC8, sind bis heute in Produktion.

Unsere Leistungen für SUSS MicroTec

Wir warten, reparieren und überholen Belacker-/Entwickleranlagen von SUSS MicroTec und Karl Suss: Falcon, ACS 200 Classic und ACS 200 Plus, Gamma 60/80, Delta und RC8.

  • Vollständiger Service und Wartung, Serviceverträge weltweit
  • Überholung von Belacker- und Entwicklermodulen nach OEM-Standard
  • Neuaufbau von Dosierarmen, Heiz- und Kühlplatten, Robotern und Pumpen
  • Prozess-Upgrades für bestehende Anlagen
  • Ersatzteile und komplette Module aus eigenem Lager
  • Online- und Telefonsupport

Spin-Coater-Reparatur →

Anlagen und Projekte

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 - 80 / DELTA

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 – 80 / DELTA

Wir überholen und reparieren Suss Microtec Falcon, ACS 200 Plus, Suss Gamma 60/80 und Delta Belacker und Entwickler, Alta Spray usw.

Wir überholen, reparieren und bauen Heiz- und Kühlplatten neu auf und können Verbesserungen anbieten.

Für den Falcon bieten wir Überholungen von Belacker- oder Entwickler-Modulen an. Außerdem überholen wir Dosierarm-Baugruppen, Roboter, Pumpen usw.

Im Laufe der Jahre haben wir einen großen Bestand an Ersatzteilen und auch kompletten Modulen aufgebaut. Unser Lager umfasst Novotron-Spinmotor-Steuerungen, Kobold-Spinmotoren und andere Modelle, PC7-Steuerungen, Lippert-Automation-Platinen, Genmark-Ersatzteile, Chucks usw.

SUSS MICROTEC GAMMA BELACKER-/ENTWICKLER-TRACKSYSTEM MIT 2 HEIZPLATTEN UND 1 HMDS-HEIZPLATTE, 2 PUFFER-KÜHLPLATTEN

SUSS MICROTEC GAMMA BELACKER-/ENTWICKLER-TRACKSYSTEM MIT 2 HEIZPLATTEN UND 1 HMDS-HEIZPLATTE, 2 PUFFER-KÜHLPLATTEN

  • Wir führen den kompletten Service und die Wartung für die Gamma-Maschinen durch.
  • Serviceverträge sind weltweit erhältlich.
  • Online-Service Telefonische Unterstützung
  • Rufen Sie uns an, wenn Sie ungewöhnliche Probleme mit Ihrer Anlage haben
SUSS MICROTEC ACS ENTWICKLERMODUL

SUSS MICROTEC ACS ENTWICKLERMODUL

  • Wir überholen die ACS-Module nach OEM-Standards
  • Bei der Überholung ersetzen wir, wo erforderlich, alle Fittings und Prozessventile.
  • Wir bauen die Hardware des Dosierarms neu auf, tauschen Schrittmotoren und Schlitten aus, verschlauchen und verkabeln das System neu.
  • Kalibrierung der Armbewegungen Prozessprüfung mit der MMC SW Endprüfung und Vorabnahme
VOLLSTÄNDIGER ÜBERHOLUNGSSERVICE FÜR CONVAC- UND SUSS-FALCON-MODULE

VOLLSTÄNDIGER ÜBERHOLUNGSSERVICE FÜR CONVAC- UND SUSS-FALCON-MODULE

  • Dieses Falcon-Entwicklermodul war über 10 Jahre im Produktionseinsatz
  • Das Modul war so stark abgenutzt, dass es vollständig überholt werden musste.
  • Alle Ventile, Schläuche und Fittings wurden ausgetauscht
  • Der Entwicklerarm wurde mit neuen Schrittmotoren, Spindeln, Schlitten und Lagern neu aufgebaut.
  • Das Modul wurde komplett zerlegt, dekontaminiert, neu aufgebaut und kalibriert.
  • Die MMC-Software ist sehr flexibel und ermöglicht es, ein defektes Modul aus dem Prozessablauf herauszunehmen, so dass der Rest des Falcon weiterhin in Produktion bleiben kann.
VOLLSTÄNDIGE ÜBERHOLUNG DES FALCON-ENTWICKLERMODULS

VOLLSTÄNDIGE ÜBERHOLUNG DES FALCON-ENTWICKLERMODULS

Vollständige Zerlegung des Moduls in verschiedene Baugruppen. Vorbereitung für den Austausch von Kabeln, Schläuchen und Ventilen. Herausnehmen der elektrischen und pneumatischen Baugruppen. Zerlegen des Moduls bis auf das leere Gehäuse, um es zu reinigen und zu dekontaminieren.

KARL SUSS ACS 200 CLASSIC

KARL SUSS ACS 200 CLASSIC

Wir überholen und reparieren Karl Suss ACS 200 Classic Tracks und RC8-Standalone-Anlagen.

Im Laufe der Jahre haben wir einen großen Bestand an Ersatzteilen und auch Modulen wie RC8-Belacker, Entwickler, HCV und MHU Module aufgebaut.

Wir überholen Heiz- und Kühlplatten, bauen sie neu auf und können Verbesserungen anbieten.

Video

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

Kontakt

Brauchen Sie Hilfe mit SUSS-MICROTEC-Anlagen?

Nennen Sie uns Anlage, Fehlerbild und Zeitrahmen. Wir antworten mit einer Einschätzung, den vorrätigen Teilen und dem Aufwand für Reparatur oder Upgrade.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com