Kontakt

APEX Semiconductor – Deutschland

Fotoausrüstungen von OEMs, die nicht mehr existieren (z.B. Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) und bei denen die OEMs den Support aufgrund des Alters der Systeme eingestellt haben.

Für eine breite Palette von Modellen bieten wir die folgenden Dienstleistungen und Ersatzteile an:

• Karl Suss ACS 200 Classic, Belacker, Entwickler, Heizplatte, Kühlplatte, VPO-Tracks
• Karl Suss RC8 Standalone-Streichmaschine, Heizplattenwerkzeuge
• Suss Microtec Gamma 60 und 80, ACS 200+, Delta Belacker, Entwickler oder Tischgerät
• Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Belacker, Entwickler, Heizplatte, Kühlplatte, HMDS, VPO, Lift-Off
• Convac M6000 Belacker, Entwickler, HMDS, Heizplatte, Reiniger, Lift Off, Etcher usw.
• Convac M2000 Belacker, Entwicklertracks und alle anderen manuellen Werkzeuge
• Convac manuelle, eigenständige Prozessmaschinen
• Convac APT-Systeme
• B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
• SSE und ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
• SVG 90s Tracks und andere SVG Tools, Belacker, Entwickler, Hotplate, Coolplate,
• Semitek, Hamatech
• KLA 21xx

APEX Semiconductor – USA

Technischer Support von KLA-Tencor für Hellfeldwerkzeuge der Serie 2100
KLA-Tencor Modelle 21XX ISMIF, 2132, 2133, 2135, 2135XP, 2138, 2138XP, 2139, 25XX, 2552, ADC

• Installation, Deinstallation und Verlegung von Werkzeugen
• System-Audits, Leistungs-Baselines, Systemqualifizierung vor dem Upgrade
• Beurteilungen, Unterstützung bei Bewerbungen
• Vorbeugende Wartung (6 Wochen PM, vierteljährlich, sechs Monate und jährlich PM)
• Technischer Support der Stufen 3 und 4, Vor-Ort-Eskalationsunterstützung
• 2552 Wafer-Defekt-Analyse
• Unterstützung der Station
• Optische Überprüfungen
• Etappenüberprüfung und Reparatur
• Ertragsdatenintegration und Netzwerk-Fehlerbehebung 
• ADC-Prozessor und -Manager unterstützt
• 21XX Kundenbetrieb Schulung und

Stufe 1 Service-Wartungsschulung

Stufe 1 / 2 Die Ausbildung umfasst Schulungen zum Kundenbetrieb und zur vorbeugenden Wartung

Stufe 3 – Stufe 4 Fortgeschrittene Schulung zum Ausrichten von Bühnen und Optiken – nur für KLA-Tencor-Mitarbeiter vorbehalten