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Convac M6000 Service, Reparatur und Ersatzteile

Service, Reparatur und Ersatzteile für Convac M6000 Belacker-, Entwickler- und Lift-Off-Tracks – einschließlich Kalibrierung und Feinabstimmung kompletter Systeme.

Belacker, Entwickler, Lift-Off

M6000-Tracks in allen drei Konfigurationen.

Kalibrierung

Komplette Systeme kalibriert und feinabgestimmt.

Roboter und Handling

Frogleg-Indexer-Roboter und Carrier-Indexer.

Ersatzteile ab Lager

Hotplates, Chucks, Spinmotoren und Platinen.

Unsere Leistungen für die Convac M6000

Wir haben an M6000-Tracks in vielen Konfigurationen gearbeitet, zum Beispiel an einem GaAs-Doppelbelacker mit zwei Hotplates und einer Coolplate aus dem Baujahr 1993 und an einem speziellen Belacker-/Entwickler-Track mit zwei Hotplates, einem HMDS-Stack, zwei Coolplates, drei Frogleg-Indexer-Robotern und zwei Carrier-Indexern. Bei diesem Track waren alle pneumatischen Funktionen ausgefallen, und die Bewegungen waren zu schnell oder zu langsam. Wir haben die Anlage kalibriert und feinabgestimmt, und sie ging wieder in Produktion.

  • Kalibrierung und Feinabstimmung kompletter M6000-Tracks
  • Reparatur pneumatischer Funktionen und des Bewegungs-Timings
  • Service von Frogleg-Indexer-Robotern und Carrier-Indexern
  • Reparatur von Hotplate-, Coolplate- und HMDS-Modulen
  • Entwickler-Chucks mit reinem Randkontakt für eine partikelfreie Wafer-Rückseite
Convac M6000

FAQ

Häufige Fragen

Können Sie einen M6000-Track wieder in Produktion bringen?

Ja. Wir haben M6000-Tracks, deren Pneumatik und Bewegungs-Timing gestört waren, kalibriert, feinabgestimmt und wieder für die Produktion freigegeben.

Unterstützen Sie M6000-Lift-Off-Tracks?

Ja. Wir betreuen M6000 Belacker-, Entwickler- und Lift-Off-Tracks.

Haben Sie Ersatzteile für die M6000?

Ja. Wir haben Teile wie Hotplates, Chucks, Spinmotoren, Roboter und Steuerplatinen auf Lager.

Beschreiben Sie uns Ihre Convac M6000

Senden Sie uns die Track-Konfiguration, den Fehler und Ihren Zeitrahmen. Sie erhalten von uns eine Einschätzung, die verfügbaren Lagerteile und ein Angebot.

+49 170 28 444 35
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