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Convac M6000: servicio, reparación y recambios

Servicio, reparación y recambios para líneas Convac M6000 de recubrimiento, revelado y lift-off, incluida la calibración y el ajuste fino de sistemas completos.

Recubrimiento, revelado, lift-off

Líneas M6000 en las tres configuraciones.

Calibración

Sistemas completos calibrados y con ajuste fino.

Robots y manipulación

Robots indexadores frogleg e indexadores de portadores.

Recambios en stock

Placas calefactoras, chucks, motores de centrifugado y placas.

Qué hacemos en el Convac M6000

Hemos trabajado en líneas M6000 en muchas configuraciones, por ejemplo una recubridora doble de GaAs con dos placas calefactoras y una placa de enfriamiento fabricada en 1993, y una línea de recubrimiento/revelado especial con dos placas calefactoras, una pila HMDS, dos placas de enfriamiento, tres robots indexadores frogleg y dos indexadores de portadores. En esa línea, todas las funciones neumáticas estaban fuera de servicio y los movimientos eran demasiado rápidos o demasiado lentos. Calibramos y ajustamos el equipo, que volvió a producción.

  • Calibración y ajuste fino de líneas M6000 completas
  • Reparación de funciones neumáticas y de la temporización de movimientos
  • Servicio de robots indexadores frogleg e indexadores de portadores
  • Reparación de módulos de placa calefactora, placa de enfriamiento y HMDS
  • Chucks de reveladora con contacto solo en el borde, para una cara posterior de la oblea libre de partículas
Convac M6000

FAQ

Preguntas frecuentes

¿Pueden devolver una línea M6000 a producción?

Sí. Hemos calibrado y ajustado líneas M6000 cuya neumática y temporización de movimientos fallaban, y las hemos liberado de nuevo para producción.

¿Dan soporte a líneas de lift-off M6000?

Sí. Damos servicio a líneas M6000 de recubrimiento, revelado y lift-off.

¿Tienen recambios para el M6000?

Sí. Tenemos en stock piezas como placas calefactoras, chucks, motores de centrifugado, robots y placas de control.

Cuéntenos sobre su Convac M6000

Envíenos la configuración de la línea, la avería y sus plazos. Le responderemos con una evaluación, las piezas que tenemos en stock y un presupuesto.

+49 170 28 444 35
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