Soporte para equipos antiguos

Convac

Piezas de recambio, servicio y actualizaciones

Desde 1968

Más de 3000 máquinas fabricadas hasta la compra por Karl Suss en 1999.

Fabs de gran volumen

Servicio Convac en Taiwán, Corea y EE. UU.

Mejoras de proceso

Mejoras para máquinas Convac existentes.

Reacondicionamiento

Cámaras, placas calefactoras, brazos dispensadores, robots y bombas.

Historia de Convac

Convac se fundó en 1968 y fabricó más de 3000 máquinas hasta 1999, cuando Convac fue adquirida por Karl Suss. Todavía hay bastantes Convac en producción.

Servicios Convac

Hemos prestado servicio a equipos Convac en FABs de gran volumen en Taiwán, Corea y Estados Unidos.

A lo largo de los años, hemos pasado de ser una empresa puramente orientada al servicio a una especialista en añadir mejoras de proceso a las máquinas existentes.

Otras piedras angulares son el reacondicionamiento y la refabricación de cámaras de recubrimiento/revelado, placas calefactoras, brazos dispensadores, robots de manipulación y bombas de resina.

Los clientes que deseen actualizar, reacondicionar o reparar su antiguo Convac pueden ponerse en contacto con nosotros.

Reparación de spin coaters →

Equipos y proyectos

Recubridora Convac M2000

Líneas (tracks) de recubrimiento/revelado M2000 o equipos independientes.

Líneas (tracks) M6000 de recubrimiento, revelado y lift-off

Líneas (tracks) M6000 de recubrimiento, revelado y lift-off

Líneas (tracks) de recubrimiento/revelado Falcon

Líneas (tracks) de recubrimiento/revelado Falcon

Almacén de piezas de recambio de APEX

Nuestro stock incluye varias piezas de recambio como controladores Seidel WKs, placas de proceso IPD, placas de circuito impreso Abakus para los sistemas Falcon, placas Kuhnke, fuentes de alimentación Phytron, motores de giro F9, chucks (mandriles), placas calefactoras, módulos de recubrimiento, elevadores, robots Frogleg, robots Genmark, efectores finales. Reparamos placas de control y controladores antiguos.

Convac M6000

Convac M6000

Recubridora doble Convac M6000 para GaAs con 2 placas calefactoras y 1 placa de refrigeración. Año de fabricación: 1993

  • Línea (track) especial de recubrimiento/revelado Convac M6000 con 2 placas calefactoras, torre HMDS, 2 placas de refrigeración,
  • 3 robots indexadores Frogleg y 2 indexadores para portadores (carriers).
  • Calibramos y ajustamos con precisión este equipo.
  • Todas las funciones neumáticas estaban fuera de servicio.
  • Los movimientos eran demasiado rápidos o demasiado lentos.
  • Así que, finalmente, el sistema pudo volver a la producción.
  • El chuck (mandril) de revelado está diseñado para contacto únicamente por el borde, lo que permite una cara posterior perfectamente libre de partículas.
Recubridora Convac M2000

Convac M2000

  • Sistema Convac M2000 de doble línea (track) con placa calefactora y placa de refrigeración.
  • La manipulación es de tipo pick and place.
  • El transporte sobre las placas calefactoras y las placas de refrigeración se realiza mediante correa.
  • Sistemas de alto rendimiento.
Convac 501

Convac 501

Recubridora manual de sustratos grandes Convac 501 con placa de barrera de aire Brazo dispensador y bombas Cybor

Todavía reparamos estas máquinas
La reparación de los motores de giro y los controladores Convac todavía está disponible.

Contacto

¿Necesita ayuda con el equipo Convac?

Indíquenos el equipo, el fallo y sus plazos. Le respondemos con una valoración, las piezas disponibles y lo que implicaría una reparación o mejora.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com