Support für Altanlagen

Convac

Ersatzteile, Service und Upgrades

Seit 1968

Über 3.000 Anlagen gebaut, bis Karl Suss Convac 1999 übernahm.

High-Volume-Fabs

Convac-Service in Taiwan, Korea und den USA.

Prozess-Upgrades

Upgrades für bestehende Convac-Anlagen.

Aufbereitung

Kammern, Hotplates, Dispense-Arme, Roboter und Pumpen.

Convac-Geschichte

Convac wurde 1968 gegründet und stellte bis 1999, als Convac von Karl Suss gekauft wurde, über 3000 Maschinen her. Es sind noch einige Convacs in Produktion.

Convac-Dienstleistungen

Wir haben Convacs in großvolumigen FABs in Taiwan, Korea und den USA gewartet.

Im Laufe der Jahre haben wir uns von einem reinen Dienstleistungsunternehmen zu einem Spezialisten entwickelt, der bestehende Maschinen um Prozessverbesserungen ergänzt.

Weitere Eckpfeiler sind die Überholung und Wiederaufbereitung von Belacker-/Entwicklerkammern, Heizplatten, Dosierarmen, Handhabungsrobotern und Lackpumpen.

Kunden, die ihren alten Convac aufrüsten, aufarbeiten oder reparieren möchten, können sich gerne an uns wenden.

Spin-Coater-Reparatur →

Anlagen und Projekte

Convac-M2000-Belacker

M2000 Belacker-/Entwicklertracks oder Standalone-Anlagen.

M6000 Belacker-/Entwickler-/Lift-Off-Tracks

M6000 Belacker-/Entwickler-/Lift-Off-Tracks

Falcon Belacker-/Entwickler-Tracks

Falcon Belacker-/Entwickler-Tracks

APEX Ersatzteillager

Unser Lager umfasst verschiedene Ersatzteile wie Seidel WKs-Steuerungen, IPD-Prozessplatinen, Abakus-Platinen für die Falcon-Systeme, Kuhnke-Platinen, Phytron-Stromversorgungen, F9-Spinmotoren, Chucks, Heizplatten, Belackermodule, Elevatoren, Frogleg-Roboter, Genmark-Roboter, Endeffektoren. Wir reparieren alte Steuerplatinen und Steuerungen.

Convac M6000

Convac M6000

Convac M6000 GaAs-Doppelbelacker mit 2 Heizplatten und 1 Kühlplatte. Baujahr 1993

  • Convac M6000 Spezial-Belacker-/Entwickler-Track mit 2 Heizplatten, HMDS-Stack, 2 Kühlplatten,
  • 3 Frogleg-Indexer-Roboter und 2 Indexer für Carrier.
  • Wir haben diese Anlage kalibriert und feinabgestimmt.
  • Alle pneumatischen Funktionen waren ausgefallen.
  • Die Bewegungen waren entweder zu schnell oder zu langsam.
  • So konnte das System schließlich wieder für die Produktion freigegeben werden.
  • Der Entwickler-Chuck ist ausschließlich für Randkontakt ausgelegt, um eine perfekt partikelfreie Rückseite zu gewährleisten.
Convac-M2000-Belacker

Convac M2000

  • Convac M2000 Doppel-Track-System mit Heizplatte und Kühlplatte.
  • Das Handling erfolgt per Pick-and-Place.
  • Der Transport auf den Heiz- und Kühlplatten erfolgt über einen Riemenantrieb.
  • Systeme mit hohem Durchsatz.
Convac 501

Convac 501

Convac 501 manueller Belacker für große Substrate mit Luftbarriereplatte Dosierarm und Cybor-Pumpen

Wir reparieren diese Maschinen weiterhin
Reparaturen an Spinmotoren und Convac-Controllern sind weiterhin möglich.

Kontakt

Brauchen Sie Hilfe mit Convac-Anlagen?

Nennen Sie uns Anlage, Fehlerbild und Zeitrahmen. Wir antworten mit einer Einschätzung, den vorrätigen Teilen und dem Aufwand für Reparatur oder Upgrade.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com