Seit 1999 · Deutschland & USA
Ein zweites Leben für photolithografische Anlagen
Service, Reparatur, Upgrades und Ersatzteile für Belackungs- und Entwicklungsanlagen, deren Hersteller nicht mehr existieren oder keinen Support mehr leisten.
1999
am Markt seit
450+
erfolgreiche Projekte
15.000+
Ersatzteile auf Lager
400 m²
Ersatzteillager
Über uns
Wenn der Hersteller fehlt, halten wir Ihre Linie am Laufen
Seit 1999 betreut APEX Semiconductor Fotolithografie-Anlagen von Herstellern, die nicht mehr existieren – Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse und APT (Convac) – sowie von Herstellern, die den Support aufgrund des Alters der Systeme eingestellt haben.
Unsere Techniker reparieren, warten, modernisieren und optimieren diese Anlagen weltweit – mit einem großen Lager an neuen und gebrauchten Ersatzteilen.
Leistungen
Service über den gesamten Lebenszyklus älterer Lithografie-Anlagen
Ersatzteile
Ein großes Lager an neuen und überholten Ersatzteilen für nicht mehr unterstützte photolithografische Anlagen.
Reparatur
Reparaturen inklusive Ersatzteilen für Anlagen von Convac-Fairchild, B.L.E., SSE, SVG, ATMsse und APT (Convac).
Technischer Service
Fehlersuche vor Ort, Eskalations-Support und Wartung laufender photolithografischer Anlagen.
Upgrades
Upgrades für ältere, aber weiterhin benötigte Anlagen – einschließlich Hardware-Redesigns ohne Softwareänderungen.
Optimierung
Optimierung von Linienleistung und Prozessen photolithografischer Anlagen.
Verwertung
Aufbereitung und Weiterverwendung nicht mehr benötigter photolithografischer Anlagen.
Unterstützte Plattformen
Tiefes Know-how für Anlagen eingestellter Hersteller
Convac
M2000- und M6000-Belackungs- und Entwicklungslinien, Falcon-Linien, manuelle und Tischgeräte
SUSS MicroTec
Falcon, ACS 200 Plus, Gamma 60/80 und Delta Belackungs- und Entwicklungssysteme
B.L.E.
Gamma 60/80, Respect 600, Delta, Acrobat, manuelle Spinner und Hotplates
SSE / ATMSSE
Maximus 804 Belackungs-, Entwicklungs- und Lift-off-Linien, Opticoat, Optiwet, Optihot
SVG 90S
SVG-90-Linien, Belacker, Entwickler, Hotplates und Coolplates
KLA-Tencor 21xx
Technischer Support für Hellfeld-Inspektionssysteme der Serie 2100
Warum APEX
Ein Partner für die gesamte Lebensdauer Ihrer Anlagen
Rundum-Service
Service über den gesamten Lebenszyklus durch erfahrene Techniker.
Fokus
Spezialisiert auf nicht mehr unterstützte photolithografische Anlagen.
Ersatzteile
Ein großes, spezialisiertes Ersatzteillager.
Weltweiter Service
Linien-Service direkt am Standort unserer Kunden, weltweit.
Standorte
Nah an Ihrer Fertigung – in Europa und den USA
Remseck, Deutschland · Hauptsitz
APEX Semiconductor GmbH
Danneckerweg 12, 71686 Remseck. Service, Reparatur und Upgrades für Anlagen von Convac, SUSS MicroTec, B.L.E., SSE und SVG sowie unser Ersatzteillager.
Stockton, Kalifornien
APEX Semiconductor USA
Technischer Support für KLA-Tencor-Hellfeldsysteme der Serie 2100: Installation, vorbeugende Wartung, Tier-3/4-Support und Schulungen.
Support-Anfrage
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