Leistungen
Service, Reparatur und Upgrades für ältere Fotolithografie-Anlagen
Support vor Ort und aus der Ferne, Ersatzteile, Überholung und Upgrades für Belackungs- und Entwicklungslinien sowie Prozessanlagen, deren Hersteller nicht mehr existieren oder keinen Support mehr leisten.
Fehlersuche vor Ort
Unsere Techniker analysieren und beheben Störungen direkt in Ihrer Fertigung.
Eskalations-Service vor Ort
Eskalations-Support vor Ort, wenn ein Problem besondere Expertise erfordert.
Online-Support
Fernunterstützung für schnelle Antworten – ohne auf einen Vor-Ort-Termin zu warten.
Überholung und Aufbereitung
Anlagen und Subsysteme wie Roboter, Hot- und Coolplates und Belackungsstationen.
Reparatur von Komponenten
Reparatur elektrischer, mechanischer und pneumatischer Komponenten.
Installation und Deinstallation
Installation und Deinstallation von Prozessanlagen.
Umzug von Anlagen
Umzugsservice für Prozessanlagen.
Prozessunterstützung und Optimierung
Unterstützung Ihrer Prozesse und Optimierung der Linienleistung.
Source Inspection
Prüfung von Anlagen beim Anbieter, bevor sie gekauft oder versendet werden.
Upgrades
Hardware-Upgrades ohne Softwareänderung – für Substrate bis 16", rund oder eckig.
Ersatzteile
400 m² Lager mit neuen und gebrauchten Teilen, von Spinmotoren bis Platinen.
KLA-Tencor 21xx
Spezialisierter Service und Ersatzteile für KLA-Tencor-21xx-Hellfeld-Inspektionssysteme.
Seit 1999
Wenn der Hersteller nicht mehr hilft, helfen wir
Seit August 1999 betreut APEX Semiconductor eine breite Palette von Fotolithografie-Anlagen, deren Hersteller nicht mehr existieren – zum Beispiel Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse und APT (Convac) – sowie Systeme, deren Hersteller den Support aufgrund ihres Alters eingestellt haben.
Wir halten diese Anlagen mit Service vor Ort, Reparaturen, Überholungen und Upgrades produktiv – unterstützt durch unser eigenes Lager an neuen und gebrauchten Ersatzteilen.
Anlagen, die wir betreuen
Unterstützte Plattformen und Modelle
SUSS MicroTec / Karl Suss
- ACS 200 Classic: Belacker-, Entwickler-, Hotplate-, Coolplate- und VPO-Linien
- RC8 Standalone-Belacker und Hotplate-Anlagen
- Gamma 60/80, ACS 200+ und Delta: Belacker, Entwickler und Tischgeräte
- Falcon (Fairchild / Convac / SUSS): Belacker, Entwickler, Hotplate, Coolplate, HMDS, VPO, Lift-off
Convac
- M6000: Belacker, Entwickler, HMDS, Hotplate, Reiniger, Lift-off, Ätzer
- M2000 Belackungs- und Entwicklungslinien sowie manuelle Geräte
- Manuelle Standalone-Prozessanlagen
- APT-Systeme
B.L.E.
- Gamma, Respect, Acrobat und Delta
SSE / ATMsse
- Maximus 804
- Opticoat, Optiwet und Optihot
SVG
- SVG-90-Linien
- Belacker, Entwickler, Hotplates und Coolplates
Weitere Plattformen
- Semitek
- Hamatech
- KLA-Tencor 21xx
FAQ
Häufige Fragen
Welche Anlagen betreuen Sie?
Fotolithografie-Anlagen von Convac, SUSS MicroTec (Karl Suss), B.L.E., SSE/ATMsse, SVG, Semitek und Hamatech – vor allem Belackungs- und Entwicklungslinien, Hotplates, Coolplates und zugehörige Prozessanlagen – sowie KLA-Tencor-21xx-Inspektionssysteme.
Bieten Sie Service vor Ort an?
Ja. Wir bieten Fehlersuche und Eskalations-Service vor Ort, Installation, Deinstallation und Umzug an Kundenstandorten weltweit sowie Online-Support.
Liefern Sie Ersatzteile für nicht mehr unterstützte Anlagen?
Ja. Wir haben ein großes Lager an neuen und gebrauchten Ersatzteilen, darunter Spinmotoren und -controller, CPU-Einheiten und Platinen. Stöbern Sie in unserem Ersatzteil-Shop oder senden Sie uns eine Anfrage.
Lassen sich ältere Anlagen modernisieren?
Ja. Dank unserer Erfahrung mit Substraten von 2" und kleiner bis 16", rund oder eckig, können wir die Hardware für Upgrades neu auslegen, ohne die Anlagensoftware zu ändern.
Wo befinden Sie sich?
Unser Hauptsitz und unser Ersatzteillager befinden sich in Remseck. Den Support für KLA-Tencor 21xx leistet APEX Semiconductor USA in Stockton, Kalifornien.
Spezialservices
Reparaturservices und Gebrauchtanlagen
Spin-Coater-Reparatur
Spinmotoren, Chucks, Becher und Upgrades für Spin Coater von Convac, SUSS, B.L.E. und SSE.
Wafertec-Pumpenreparatur
Überholung, Reparatur und Austausch von Wafertec-F30- und Pribyl-Dosierpumpen.
Gebrauchtanlagen
Überholte Julabo-Kühler, ISEL-Roboter und mehr.
Support-Anfrage
Bereit für ein zweites Leben Ihrer Anlage?
Beschreiben Sie uns Ihr System und das Problem – wir melden uns schnell bei Ihnen.