Services
Service, réparation et mises à niveau pour équipements de photolithographie anciens
Assistance sur site et à distance, pièces de rechange, reconditionnement et mises à niveau pour les lignes d’enduction et de développement et les outils de procédé dont les fabricants n’existent plus ou n’assurent plus le support.
Dépannage sur site
Nos techniciens diagnostiquent et résolvent les problèmes directement dans votre usine.
Service d’escalade sur site
Un support d’escalade sur site lorsqu’un problème exige une expertise pointue.
Assistance en ligne
Une assistance à distance pour des réponses rapides, sans attendre une intervention sur site.
Révision et reconditionnement
Machines et sous-systèmes : robots, plaques chauffantes et stations d’enduction.
Réparation de pièces
Réparation de composants électriques, mécaniques et pneumatiques.
Installation et désinstallation
Installation et désinstallation d’équipements de procédé.
Déménagement
Service de déménagement pour équipements de procédé.
Support et optimisation des procédés
Accompagnement de vos procédés et optimisation des performances de ligne.
Inspection à la source
Inspection des équipements chez le vendeur, avant l’achat ou l’expédition.
Mises à niveau
Mises à niveau et refontes matérielles sans modification logicielle – pour substrats de 2" et moins jusqu’à 16", ronds ou carrés.
Pièces de rechange
Stock de 400 m² de pièces neuves et d’occasion, des moteurs de spin aux cartes.
KLA-Tencor 21xx
Service spécialisé et pièces de rechange pour les outils d’inspection en champ clair KLA-Tencor 21xx.
Depuis 1999
Quand le fabricant ne vous aide plus, nous prenons le relais
Depuis août 1999, APEX Semiconductor assure le support d’un large éventail d’équipements photo de fabricants qui n’existent plus – par exemple Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse et APT (Convac) – ainsi que de systèmes dont les fabricants ont cessé le support en raison de leur âge.
Nous maintenons ces machines en production grâce au service sur site, aux réparations, au reconditionnement et aux mises à niveau, avec notre propre stock de pièces de rechange neuves et d’occasion.
Équipements pris en charge
Plateformes et modèles supportés
SUSS MicroTec / Karl Suss
- ACS 200 Classic : lignes d’enduction, développement, plaques chauffantes, de refroidissement et VPO
- RC8 : enducteur et plaques chauffantes autonomes
- Gamma 60/80, ACS 200+ et Delta : enducteurs, développeurs et outils de table
- Falcon (Fairchild / Convac / SUSS) : enduction, développement, plaques chauffantes et de refroidissement, HMDS, VPO, lift-off
Convac
- M6000 : enduction, développement, HMDS, plaque chauffante, nettoyage, lift-off, gravure
- Lignes d’enduction et de développement M2000 et outils manuels
- Machines de procédé manuelles autonomes
- Systèmes APT
B.L.E.
- Gamma, Respect, Acrobat et Delta
SSE / ATMsse
- Maximus 804
- Opticoat, Optiwet et Optihot
SVG
- Lignes SVG série 90
- Enducteurs, développeurs, plaques chauffantes et de refroidissement
Autres plateformes
- Semitek
- Hamatech
- KLA-Tencor 21xx
FAQ
Questions fréquentes
Quels équipements prenez-vous en charge ?
Les équipements de photolithographie de Convac, SUSS MicroTec (Karl Suss), B.L.E., SSE/ATMsse, SVG, Semitek et Hamatech – principalement des lignes d’enduction et de développement, des plaques chauffantes et de refroidissement et les outils de procédé associés – ainsi que les outils d’inspection KLA-Tencor 21xx.
Intervenez-vous sur site ?
Oui. Nous assurons le dépannage et le service d’escalade sur site, l’installation, la désinstallation et le déménagement chez nos clients dans le monde entier, ainsi qu’une assistance en ligne.
Fournissez-vous des pièces pour des machines qui ne sont plus supportées ?
Oui. Nous disposons d’un large stock de pièces neuves et d’occasion, notamment des moteurs et contrôleurs de spin, des unités CPU et des cartes électroniques. Consultez notre boutique de pièces ou envoyez-nous une demande.
Peut-on moderniser des machines anciennes ?
Oui. Grâce à notre expérience des substrats de 2" et moins jusqu’à 16", ronds ou carrés, nous pouvons repenser le matériel pour des mises à niveau sans modifier le logiciel de la machine.
Où êtes-vous situés ?
Notre siège et notre entrepôt de pièces se trouvent à Remseck, en Allemagne. Le support KLA-Tencor 21xx est assuré par APEX Semiconductor USA à Stockton, en Californie.
Services spécialisés
Services de réparation et équipements d’occasion
Réparation de spin coaters
Moteurs de spin, chucks, bols et mises à niveau pour spin coaters Convac, SUSS, B.L.E. et SSE.
Réparation de pompes Wafertec
Révision, réparation et échange de pompes de distribution Wafertec F30 et Pribyl.
Équipements d’occasion
Refroidisseurs Julabo, robots ISEL remis à neuf et plus.
Demande d’assistance
Prêt à offrir une seconde vie à votre équipement ?
Décrivez-nous votre système et le problème – nous vous répondrons rapidement.