Support des équipements anciens

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

Pièces détachées, service et mises à niveau

Depuis 1949

Fondée par Karl Süss à Munich ; rachat de Convac et Fairchild en 1999.

Service enducteurs/développeurs

Falcon, ACS 200, Gamma 60/80, Delta et RC8.

Reconditionnement

Modules aux standards OEM, bras, plaques chauffantes, robots et pompes.

Contrats de service

Dans le monde entier, avec assistance en ligne et par téléphone.

L’histoire de SUSS MicroTec

Karl Süss a fondé l’entreprise à Munich en 1949. SUSS MicroTec fournit aujourd’hui des équipements et des solutions de procédé pour la microstructuration, notamment la lithographie, l’enduction, le collage de plaquettes et le traitement des photomasques.

En 1999, SUSS a repris Convac et Fairchild Technologies, ajoutant à sa gamme leurs systèmes d’enduction et de développement, comme le Falcon. De nombreux équipements d’enduction et de développement SUSS, dont les Falcon, ACS 200, Gamma, Delta et RC8, sont encore en production aujourd’hui.

Nos services SUSS MicroTec

Nous assurons la maintenance, la réparation et la remise à neuf des équipements d’enduction et de développement SUSS MicroTec et Karl Suss : Falcon, ACS 200 Classic et ACS 200 Plus, Gamma 60/80, Delta et RC8.

  • Service complet et maintenance, contrats de service dans le monde entier
  • Remise à neuf des modules d’enduction et de développement selon les normes OEM
  • Reconstruction de bras de distribution, plaques chauffantes et de refroidissement, robots et pompes
  • Mises à niveau de procédé pour les équipements existants
  • Pièces détachées et modules complets de notre stock
  • Assistance en ligne et par téléphone

Réparation de spin coaters →

Équipements et projets

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 - 80 / DELTA

SUSS FALCON / ACS 200 PLUS / GAMMA 60 – 80 / DELTA

Nous remettons à neuf et réparons les Suss Microtec Falcon, ACS 200 Plus, Suss Gamma 60/80 et Delta (enducteurs, développeurs), Alta Spray, etc.

Nous remettons à neuf, réparons et reconstruisons les plaques chauffantes et les plaques de refroidissement et sommes en mesure de proposer des améliorations.

Pour le Falcon, nous proposons la remise à neuf des modules d’enduction ou de développement. Nous remettons également à neuf les ensembles de bras de distribution, les robots, les pompes, etc.

Au fil des ans, nous avons constitué un important stock de pièces détachées et de modules complets. Notre stock comprend des contrôleurs de moteurs de rotation Novotron, des moteurs de rotation Kobold et d’autres modèles, des contrôleurs PC7, des cartes d’automatisation Lippert, des pièces détachées Genmark, des mandrins, etc.

LIGNE (TRACK) ENDUCTEUR-DÉVELOPPEUR SUSS MICROTEC GAMMA AVEC 2 PLAQUES CHAUFFANTES, 1 PLAQUE CHAUFFANTE HMDS ET 2 PLAQUES DE REFROIDISSEMENT

LIGNE (TRACK) ENDUCTEUR-DÉVELOPPEUR SUSS MICROTEC GAMMA AVEC 2 PLAQUES CHAUFFANTES, 1 PLAQUE CHAUFFANTE HMDS ET 2 PLAQUES DE REFROIDISSEMENT DE STOCKAGE

  • Nous assurons un service complet et la maintenance des machines Gamma.
  • Des contrats de service sont disponibles dans le monde entier.
  • Service en ligne Assistance téléphonique
  • Appelez-nous si vous avez des problèmes étranges avec votre outil.
MODULE DE DÉVELOPPEMENT SUSS MICROTEC ACS

MODULE DE DÉVELOPPEMENT SUSS MICROTEC ACS

  • Nous remettons à neuf les modules ACS selon les normes OEM.
  • Nous remettons à neuf en remplaçant, le cas échéant, tous les raccords et vannes de procédé.
  • Nous reconstruisons le matériel du bras de distribution, remplaçons les moteurs pas à pas et les glissières, re-tubons et recâblons le système.
  • Calibrage des mouvements du bras Test du processus avec le logiciel MMC Test final et pré-acceptation
SERVICE COMPLET DE REMISE À NEUF DES MODULES CONVAC & SUSS FALCON

SERVICE COMPLET DE REMISE À NEUF DES MODULES CONVAC & SUSS FALCON

  • Ce module de développement Falcon est en production depuis plus de 10 ans.
  • Le module était tellement usé qu’il fallait le remettre entièrement à neuf.
  • Toutes les vannes, les tubes et les raccords ont été remplacés
  • Le bras du module de développement a été reconstruit avec des moteurs pas à pas, des broches, des glissières et des roulements neufs.
  • Le module a été entièrement démonté, décontaminé, reconstruit et calibré.
  • Le logiciel MMC est très souple et permet de retirer un module défectueux du flux de procédé, de sorte que le reste du Falcon puisse rester en production.
MODULE DE DÉVELOPPEMENT FALCON : REMISE À NEUF COMPLÈTE

MODULE DE DÉVELOPPEMENT FALCON : REMISE À NEUF COMPLÈTE

Démontage complet du module en différents sous-ensembles. Préparation du remplacement des câbles, des tubes et des vannes. Dépose des ensembles électriques et des ensembles pneumatiques. Démontage du module jusqu’au châssis nu afin de le nettoyer et de le décontaminer.

KARL SUSS ACS 200 CLASSIC

KARL SUSS ACS 200 CLASSIC

Nous remettons à neuf et réparons les lignes (tracks) Karl Suss ACS 200 Classic et les équipements RC8 autonomes.

Au fil des ans, nous avons constitué un important stock de pièces détachées et de modules tels que l’enducteur RC8, le développeur, les modules HCV et MHU.

Nous remettons à neuf et reconstruisons les plaques chauffantes et les plaques de refroidissement et sommes en mesure de proposer des améliorations.

Vidéo

KARL SUSS – SUSS MICROTEC

Contact

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Indiquez-nous l’équipement, le défaut et vos délais. Nous répondons avec un diagnostic, les pièces disponibles et ce qu’exigerait une réparation ou une mise à niveau.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com