APEX Semiconductor
À propos de nous
Pièces détachées, service et mises à niveau
Depuis 1999
Au service des équipements de photolithographie depuis août 1999.
400 m² de stock
Pièces neuves et d’occasion, des moteurs de spin aux cartes.
Substrats de 2″ à 16″
Ronds ou carrés, de 2″ et moins jusqu’à 16″.
Équipements sans support OEM
SUSS, Convac, SSE, B.L.E., SVG et autres.
Qui sommes-nous
APEX Semiconductor GmbH est un fournisseur de services et de solutions pour l’industrie des semi-conducteurs. Nous réparons et entretenons, mettons à niveau ou optimisons les machines photolithographiques dans le monde entier.
Depuis août 1999, nous prenons en charge une large gamme d’équipements de photolithographie provenant d’équipementiers qui n’existent plus (par exemple Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac)) ou dont les équipementiers ont simplement cessé le support en raison de l’âge des systèmes.
Équipements que nous prenons en charge
Pour une large gamme de modèles, nous fournissons les services et les pièces détachées suivants :
- Karl Suss ACS 200 Classic, Enducteur, Développeur, Plaque chauffante, Plaque de refroidissement, Lignes (tracks) VPO
- Karl Suss RC8 : enducteurs autonomes, équipements à plaque chauffante
- Suss Microtec Gamma 60 et 80, ACS 200+, Delta : enducteur, développeur ou version de table (table top)
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon : enducteur, développeur, plaque chauffante, plaque de refroidissement, HMDS, VPO, lift-off
- Convac M6000 Enducteur, Développeur, HMDS, Plaque chauffante, Nettoyeur, Lift-off, Graveur, etc.
- Convac M2000 : lignes (tracks) enducteur et développeur, et tous les autres équipements manuels
- Machines de procédé manuelles autonomes Convac
- Systèmes APT Convac
- B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
- SSE et ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
- Lignes (tracks) SVG 90s et autres équipements SVG : enducteur, développeur, plaque chauffante, plaque de refroidissement,
- Semitek, Hamatech
- KLA 21xx
Services et stock de pièces
Nos services comprennent les éléments suivants :
- Dépannage sur place
- Intervention sur site en cas d’escalade
- Assistance en ligne
- Révisions et remises à neuf de machines et de sous-systèmes tels que les robots Genmark, Isel et Frogleg, les modules de procédé individuels comme les plaques chauffantes, les plaques de refroidissement, les stations d’enduction, etc.
- Réparations de pièces pour les composants électriques, mécaniques et pneumatiques
- Service d’installation et de désinstallation
- Service de transfert (déménagement) des équipements de procédé
- Soutien et optimisation des processus
- Inspection chez le fournisseur (source inspection)
- Mises à niveau
- Nous sommes également en mesure d’offrir un service spécialisé dans le support et les pièces détachées des KLA 21xx.
Grâce à notre longue expérience dans l’industrie avec des substrats de 2″ et moins jusqu’à 16″, ronds ou carrés, nous sommes en mesure de proposer des mises à niveau dans lesquelles nous reconcevons le matériel sans modification du logiciel.
Nous disposons également d’un vaste stock (400 mètres carrés) de pièces détachées neuves ou d’occasion : Divers moteurs de rotation, contrôleurs de rotation (Novotron ND 21- 31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix …), unités centrales pour Convac, SSE (PMA PU 104 …), circuits imprimés Convac, circuits imprimés SVG, circuits imprimés SSE etc. pièces électriques, pièces mécaniques et assemblages….
Si vous disposez d’un ancien équipement enducteur-développeur dont le système présente des problèmes légers ou graves, ou si vous recherchez simplement une assistance pour une ancienne machine de procédé, appelez-nous. Nous sommes là pour vous aider.
Contact
Contactez-nous pour une aide rapide concernant vos machines photolithographiques
Indiquez-nous l’équipement, le défaut et vos délais. Nous répondons avec un diagnostic, les pièces disponibles et ce qu’exigerait une réparation ou une mise à niveau.