APEX Semiconductor

关于我们

备件、服务和升级

始于 1999 年

自 1999 年 8 月起为光刻设备提供支持。

400 平方米备件库

全新及二手备件,从旋涂电机到电路板。

2 至 16 英寸基片

圆形或方形,2 英寸及以下至 16 英寸。

停产 OEM 设备

SUSS、Convac、SSE、B.L.E.、SVG 等。

公司简介

APEX Semiconductor GmbH是一家面向半导体行业的服务与解决方案提供商。我们在全球范围内对光刻工艺设备进行维修、保养、升级和优化。

自1999年8月以来,我们为各类光刻设备提供支持,这些设备的原始制造商(OEM)或已不复存在(如Convac-Fairchild、B.L.E. Laboratory Equipment、SSE(Sister Semiconductor Equipment)、SVG(Silicon Valley Group)、ATMsse、APT(Convac)),或因设备年代久远而停止提供支持。

我们支持的设备

我们为以下多种型号的设备提供服务和备件:

  • Karl Suss ACS 200 Classic:涂胶机、显影机、热板、冷板、VPO轨道式系统
  • Karl Suss RC8独立式涂胶机、热板设备
  • Suss Microtec Gamma 60和80、ACS 200+、Delta涂胶机、显影机或台式机型
  • Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon涂胶机、显影机、热板、冷板、HMDS、VPO、剥离(lift-off)
  • Convac M6000涂胶机、显影机、HMDS、热板、清洗机、剥离(lift-off)、蚀刻机等。
  • Convac M2000涂胶机、显影轨道式系统及所有其他手动设备
  • Convac手动独立式工艺设备
  • Convac APT系统
  • B.L.E. Gamma、Respect、Acrobat、Delta。
  • SSE和ATMsse Maximus 804、Opticoat、Optiwet、Optihot
  • SVG 90s轨道式系统及其他SVG设备:涂胶机、显影机、热板、冷板
  • Semitek、Hamatech
  • KLA 21xx

服务与备件库存

我们的服务包括:

  • 现场故障排除
  • 现场疑难问题升级支持
  • 在线支持
  • 机器和子系统的大修与翻新,如Genmark机器人、Isel机器人和Frogleg机器人,以及热板、冷板、涂胶工位等单一工艺模块。
  • 电气、机械和气动元件的零件维修
  • 安装和拆除服务
  • 工艺设备的搬迁服务
  • 工艺支持与优化
  • 源头检验(供应商现场验货)
  • 升级
  • 我们还能够提供KLA 21xx支持和备件方面的专家服务。

凭借我们在2英寸及以下直至16英寸圆形或方形基片方面的多年行业经验,我们能够提供仅重新设计硬件、无需更改软件的升级方案。

我们还拥有大量(400平方米)全新或二手备件库存:各种旋转电机、旋转控制器(Novotron ND 21-31、Convac、Seidel WKS65、Berger Lahr、Metronix……)、Convac和SSE的CPU单元(PMA PU 104……)、Convac PCB、SVG PCB、SSE PCB等电气部件、机械部件和组件……

如果您有一台较旧的涂胶显影设备,且系统出现轻微或严重的问题,或者您只是在为较旧的工艺设备寻找支持,请打电话给我们。我们在这里为您提供支持。

联系我们

联系我们,快速获得光刻工艺设备方面的帮助

请告诉我们设备型号、故障情况和时间安排。我们会回复评估意见、现有备件,以及维修或升级所需的工作量。

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com