APEX Semiconductor
关于我们
备件、服务和升级
始于 1999 年
自 1999 年 8 月起为光刻设备提供支持。
400 平方米备件库
全新及二手备件,从旋涂电机到电路板。
2 至 16 英寸基片
圆形或方形,2 英寸及以下至 16 英寸。
停产 OEM 设备
SUSS、Convac、SSE、B.L.E.、SVG 等。
公司简介
APEX Semiconductor GmbH是一家面向半导体行业的服务与解决方案提供商。我们在全球范围内对光刻工艺设备进行维修、保养、升级和优化。
自1999年8月以来,我们为各类光刻设备提供支持,这些设备的原始制造商(OEM)或已不复存在(如Convac-Fairchild、B.L.E. Laboratory Equipment、SSE(Sister Semiconductor Equipment)、SVG(Silicon Valley Group)、ATMsse、APT(Convac)),或因设备年代久远而停止提供支持。
我们支持的设备
我们为以下多种型号的设备提供服务和备件:
- Karl Suss ACS 200 Classic:涂胶机、显影机、热板、冷板、VPO轨道式系统
- Karl Suss RC8独立式涂胶机、热板设备
- Suss Microtec Gamma 60和80、ACS 200+、Delta涂胶机、显影机或台式机型
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon涂胶机、显影机、热板、冷板、HMDS、VPO、剥离(lift-off)
- Convac M6000涂胶机、显影机、HMDS、热板、清洗机、剥离(lift-off)、蚀刻机等。
- Convac M2000涂胶机、显影轨道式系统及所有其他手动设备
- Convac手动独立式工艺设备
- Convac APT系统
- B.L.E. Gamma、Respect、Acrobat、Delta。
- SSE和ATMsse Maximus 804、Opticoat、Optiwet、Optihot
- SVG 90s轨道式系统及其他SVG设备:涂胶机、显影机、热板、冷板
- Semitek、Hamatech
- KLA 21xx
服务与备件库存
我们的服务包括:
- 现场故障排除
- 现场疑难问题升级支持
- 在线支持
- 机器和子系统的大修与翻新,如Genmark机器人、Isel机器人和Frogleg机器人,以及热板、冷板、涂胶工位等单一工艺模块。
- 电气、机械和气动元件的零件维修
- 安装和拆除服务
- 工艺设备的搬迁服务
- 工艺支持与优化
- 源头检验(供应商现场验货)
- 升级
- 我们还能够提供KLA 21xx支持和备件方面的专家服务。
凭借我们在2英寸及以下直至16英寸圆形或方形基片方面的多年行业经验,我们能够提供仅重新设计硬件、无需更改软件的升级方案。
我们还拥有大量(400平方米)全新或二手备件库存:各种旋转电机、旋转控制器(Novotron ND 21-31、Convac、Seidel WKS65、Berger Lahr、Metronix……)、Convac和SSE的CPU单元(PMA PU 104……)、Convac PCB、SVG PCB、SSE PCB等电气部件、机械部件和组件……
如果您有一台较旧的涂胶显影设备,且系统出现轻微或严重的问题,或者您只是在为较旧的工艺设备寻找支持,请打电话给我们。我们在这里为您提供支持。
联系我们
联系我们,快速获得光刻工艺设备方面的帮助
请告诉我们设备型号、故障情况和时间安排。我们会回复评估意见、现有备件,以及维修或升级所需的工作量。