备件商店

老旧光刻设备备件

为 Convac、SUSS MicroTec、B.L.E.、SSE、SVG 等老旧光刻设备提供备件。可按 OEM 零件号、型号或关键词搜索，也可按制造商、平台和状态筛选。

控制电子与电路板

PMA 控制模块、Lippert/ISA 板卡、接口卡、电源与控制板、PLC 模块

446 件

电机、驱动与运动控制

旋涂电机、Metronix 旋涂控制器、伺服电机、电机驱动器、编码器、皮带

214 件

晶圆吸盘、嵌件与真空部件

真空吸盘、晶圆吸盘、吸盘嵌件、定中件、真空接头、密封件

17 件

涂胶机与 Spin Coater 部件

涂胶杯、旋转组件、点胶部件、盖板、防溅罩、 Spin Coater 配件

45 件

显影、湿法工艺与化学品处理

显影部件、湿法工作台、泵、阀门、化学品管路、过滤器、歧管、喷嘴

35 件

热板、冷板与热控部件

热板、冷板、加热器、温度传感器、热销、控制器、顶针

37 件

气动、真空与流体部件

气缸、电磁阀、调压阀、阀门、真空泵、接头、软管、流量部件

23 件

冷水机、冷却与温控

Julabo 冷水机、冷水机、制冷部件、冷却泵、热交换器、温控模块

15 件

机械组件与工装

盖板、支架、框架、销钉组件、升降机构、适配器、夹具、维修工具

1 件

显示 1-24 个结果（共 830 个结果）