Convac
Convac M6000 服务、维修与备件
为 Convac M6000 涂胶、显影及剥离轨道式系统提供服务、维修与备件，包括整套系统的校准与精细调整。
涂胶、显影、剥离
三种配置的 M6000 轨道式系统。
校准
整套系统的校准与精细调整。
机械手与传送
蛙腿式索引机械手和载具索引器。
现货备件
热板、吸盘、旋涂电机和电路板。
我们为 Convac M6000 提供的服务
我们曾处理过多种配置的 M6000 轨道式系统，例如一台 1993 年制造、配有两个热板和一个冷板的 GaAs 双涂胶机，以及一条特殊的涂胶显影轨道式系统，配有两个热板、一个 HMDS 堆栈、两个冷板、三个蛙腿式索引机械手和两个载具索引器。该系统的所有气动功能均已失灵，动作过快或过慢。我们对设备进行了校准和精细调整，使其重新投入生产。
- 整套 M6000 轨道式系统的校准与精细调整
- 气动功能及动作时序的维修
- 蛙腿式索引机械手和载具索引器的维护
- 热板、冷板和 HMDS 模块的维修
- 仅边缘接触的显影吸盘，确保晶圆背面无颗粒
Convac M6000 现货备件
我们库存中的 M6000 轨道式系统备件。如未列出您所需的备件，请联系我们。
FAQ
常见问题
你们能让 M6000 轨道式系统恢复生产吗？
可以。我们曾对气动系统和动作时序出现故障的 M6000 轨道式系统进行校准和精细调整，并使其重新投入生产。
你们支持 M6000 剥离轨道式系统吗？
是的。我们为 M6000 涂胶、显影及剥离轨道式系统提供服务。
你们有 M6000 的备件吗？
有。我们备有热板、吸盘、旋涂电机、机械手和控制板等现货备件。
告诉我们您的 Convac M6000 情况
请将轨道式系统配置、故障情况和您的时间要求发送给我们。我们将回复评估意见、现有库存备件及报价。