老旧设备支持
Convac
备件、服务和升级
始于 1968 年
1999 年被 Karl Suss 收购前共生产 3000 多台设备。
大批量晶圆厂
在台湾、韩国和美国为 Convac 设备提供服务。
工艺升级
为现有 Convac 设备提供升级。
翻新
腔体、热板、点胶臂、机械手和泵。
Convac的故事
Convac成立于1968年，至1999年被Karl Suss收购前共生产了3000多台设备。目前仍有相当多的Convac设备在生产线上运行。
Convac服务
我们曾在台湾、韩国和美国的大规模量产晶圆厂中为Convac设备提供服务。
多年来，我们已从一家纯服务型公司发展成为专门为现有设备提供工艺升级的专业公司。
我们的其他核心业务包括涂胶/显影腔体、热板、滴胶臂、传送机器人和光刻胶泵的翻新与再制造。
欢迎有特殊要求的客户与我们联系，以升级、翻新或维修他们的旧Convac。
型号页面： Convac M2000 · Convac M6000
设备与项目
M2000涂胶/显影轨道式系统或独立式设备。
M6000涂胶-显影-剥离（lift-off）轨道式系统
Falcon涂胶显影轨道式系统
我们的库存包括各种备件，如Seidel WKs控制器、IPD工艺板、Falcon系统用Abakus PCB、Kuhnke板、Phytron电源、F9旋转电机、吸盘、热板、涂胶模块、升降机构、Frogleg机器人、Genmark机器人和末端执行器。我们也维修旧的控制板和控制器。
Convac M6000
Convac M6000 GaAs 双涂胶机，带2个热板和1个冷板。制造年份：1993年
- Convac M6000特殊涂胶显影轨道式系统，带2个热板、HMDS堆栈和2个冷板，
- 3台Frogleg分度机器人，以及2个片盒分度器（Indexer）。
- 我们对该设备进行了校准和精细调整。
- 所有的气动功能都失灵了。
- 这些动作要么太快，要么太慢。
- 因此，该系统最终得以重新投入生产。
- 显影吸盘采用仅边缘接触的设计，可确保晶圆背面完全无颗粒污染。
Convac M2000
- Convac M2000双轨系统，带热板和冷板。
- 晶圆传送方式为取放式（pick and place）。
- 热板和冷板上的晶圆传送采用皮带驱动。
- 高产能系统。
Convac 501
Convac 501大型基片手动涂胶机，带空气阻隔板、 滴胶臂和Cybor泵
我们仍在维修这些机器。
旋转电机和Convac控制器仍可维修。
联系我们
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请告诉我们设备型号、故障情况和时间安排。我们会回复评估意见、现有备件，以及维修或升级所需的工作量。