Über uns

Ersatzteile, Service und Upgrades

Die APEX Semiconductor GmbH ist ein Service- und Lösungsanbieter für die Halbleiterindustrie. Wir reparieren und warten, rüsten auf oder optimieren photolithographische Maschinen weltweit.

Seit August 1999 unterstützen wir eine breite Palette von Fotoausrüstungen von OEMs, die nicht mehr existieren (z.B. Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) oder bei denen die OEMs den Support aufgrund des Alters der Systeme einfach eingestellt haben.

Für eine breite Palette von Modellen bieten wir die folgenden Dienstleistungen und Ersatzteile an:

Karl Suss ACS 200 Classic, Beschichter, Entwickler, Heizplatte, Kühlplatte, VPO-Tracks
Karl Suss RC8 Standalone-Streichmaschine, Heizplattenwerkzeuge
Suss Microtec Gamma 60 und 80, ACS 200+, Delta Coater, Entwickler oder Tischgerät
Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Entwickler Heizplatte, Kühlplatte, HMDS, VPO, Lift-Off
Convac M6000 Beschichter, Entwickler, HMDS, Heizplatte, Reiniger, Lift Off, Etcher usw.
Convac M2000 Coater, Entwicklerschienen und alle anderen manuellen Werkzeuge
Convac manuelle, eigenständige Prozessmaschinen
Convac APT-Systeme
B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
SSE und ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
SVG 90s Tracks und andere SVG Tools, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
Semitek, Hamatech
KLA 21xx

Unsere Dienstleistungen umfassen die folgenden Bereiche:

Fehlerbehebung vor Ort
Vor-Ort-Eskalationsdienst
Online-Unterstützung
Überholungen und Refurbishments von Maschinen und Subsystemen, z.B. Genmark-Roboter, Isel-Roboter und Frogleg-Roboter, einzelne Prozessmodule wie Heizplatten, Kühlplatten, Coaterstationen etc.
Teile Reparaturen für elektrische, mechanische und pneumatische Komponenten
Installations- und Deinstallationsservice
Umzugsservice für verfahrenstechnische Anlagen
Prozessunterstützung und -optimierung
Quelle: Inspektion
Upgrades
Wir sind auch in der Lage, spezialisierten Service für KLA 21xx Support und Ersatzteile anzubieten.

Aufgrund unserer langjährigen Erfahrung in der Industrie mit 2″ und kleineren und bis zu 16″ Substraten, entweder rund oder quadratisch, sind wir in der Lage, Upgrades anzubieten, bei denen wir die Hardware ohne Softwareänderungen neu gestalten.

Wir verfügen auch über ein umfangreiches Lager (400 Quadratmeter) an neuen und gebrauchten Ersatzteilen: Verschiedene Spinnmotoren, Spinnregler (Novotron ND 21- 31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix ...), CPU-Einheiten für Convac, SSE (PMA PU 104 ...), Convac Platinen, SVG Platinen, SSE Platinen usw. elektrische Teile, mechanische Teile und Baugruppen....

Wenn Sie ein älteres Coater-Developer Tool haben und das System leichte oder schwerwiegende Probleme aufweist oder Sie einfach nur Unterstützung für eine ältere Prozessmaschine suchen, rufen Sie uns bitte an. Wir sind hier, um Sie zu unterstützen.

Wenden Sie sich an uns, wenn Sie schnelle Hilfe für Ihre fotolithografischen Maschinen benötigen

OEM-MARKEN

UNTERNEHMEN

SUPPORT-ANFRAGE

Wenden Sie sich an uns, wenn Sie Unterstützung für Ihre alternden, nicht von OEM unterstützten Geräte benötigen.

Wir haben die Ersatzteile, die Werkzeuge und die Erfahrung, um das Beste aus Ihren Investitionen herauszuholen.

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