始于 1999 年 · 德国与美国

让光刻设备重获新生

为原厂已不复存在或已停止支持的涂胶显影设备提供服务、维修、升级改造和备件。

1999

创立于

450+

成功项目

15,000+

库存备件

400 m²

备件仓库

关于我们

原厂不在,我们让您的产线持续运转

自 1999 年以来,APEX Semiconductor 一直为已不复存在的原厂设备提供支持,包括 Convac-Fairchild、B.L.E. Laboratory Equipment、SSE(Sister Semiconductor Equipment)、SVG(Silicon Valley Group)、ATMsse 和 APT(Convac),以及因设备老旧而被原厂停止支持的光刻设备。

我们的技术人员在全球范围内对这些设备进行维修、保养、升级和优化,并拥有大量全新及二手备件库存。

进一步了解 APEX

Wafer cassettes in a refurbished coater/developer track

服务内容

为老旧光刻设备提供全生命周期服务

备件

为已停产的光刻设备储备大量全新及翻新备件。

维修

为 Convac-Fairchild、B.L.E.、SSE、SVG、ATMsse 和 APT(Convac)设备提供含备件的维修服务。

技术服务

为运行中的光刻设备提供现场故障排除、疑难问题支持和维护。

升级改造

为老旧但仍需使用的设备提供升级改造,包括无需更改软件的硬件重新设计。

优化

提升光刻设备的产线性能并优化工艺。

再利用

对不再使用的光刻设备进行翻新和再利用。

支持的设备平台

深耕已停产原厂设备

Convac

M2000、M6000 涂胶显影线,Falcon 生产线,手动及台式设备

SUSS MicroTec

Falcon、ACS 200 Plus、Gamma 60/80 和 Delta 涂胶显影系统

B.L.E.

Gamma 60/80、Respect 600、Delta、Acrobat、手动 Spin Coater 和热板

SSE / ATMSSE

Maximus 804 涂胶、显影及剥离生产线,Opticoat、Optiwet、Optihot

SVG 90S

SVG 90 系列生产线、涂胶机、显影机、热板和冷板

KLA-Tencor 21xx

2100 系列明场检测设备的技术支持

Control boards for photolithography equipment

为什么选择 APEX

伴您设备全生命周期的合作伙伴

全方位服务

由经验丰富的技术人员提供全生命周期服务。

专注

专注于已停止原厂支持的光刻设备。

备件

大量专业备件库存。

全球服务

在全球客户现场提供产线服务。

服务网点

贴近您的工厂——覆盖欧洲与美国

德国 Remseck · 总部

APEX Semiconductor GmbH

Danneckerweg 12, 71686 Remseck, Germany。为 Convac、SUSS MicroTec、B.L.E.、SSE 和 SVG 设备提供服务、维修和升级改造,并设有备件仓库。

美国加利福尼亚州 Stockton

APEX Semiconductor USA

为 KLA-Tencor 2100 系列明场检测设备提供技术支持:安装、预防性维护、三级/四级技术支持及培训。

技术支持申请

准备好让您的设备重获新生了吗?

请告诉我们您的设备和遇到的问题,我们会尽快回复您。

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com