ATV – PEO 603
描述
ATV 是一台管式炉，可用于氧化、掺杂和退火。对于敏感工艺，使用工艺内衬管以防止交叉污染。目前该系统支持 4″ 晶圆及碎片的湿法/干法氧化和退火。
同样支持低压工艺。
其他信息
| 品牌 | ATV |
|---|---|
| Location | |
| Manufacturer | |
| Model | |
| 状态 | 二手（未测试） |
| 供货情况 | 现货 |
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