ATV – PEO 603
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Description
L’ATV est un four tubulaire utilisable pour l’oxydation, le dopage et les recuits. Des chemises internes de process sont utilisées pour les process sensibles afin d’éviter la contamination croisée. Actuellement, le système prend en charge l’oxydation humide/sèche et le recuit de wafers de 4″ et de fragments.
Le traitement basse pression est également pris en charge.
Informations complémentaires
| Marque | ATV |
|---|---|
| Location | |
| Manufacturer | |
| Model | |
| État | Occasion non testée |
| Disponibilité | En stock |
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