Iwaki – 气动波纹管泵 – SB-4S-ML – 气动波纹管泵 / 光刻胶分配器-二手 – 07103324

描述

Iwaki SB-4S-ML 气动波纹管泵 光刻胶分配器 15mL 半导体 07103324

Iwaki SB-4S-ML 气动波纹管泵，用于半导体制造中的精密光刻胶滴胶。最大排出容量 15 mL/冲程，最大排出压力 0.05 MPa。

不锈钢 (SUS304) 泵头，配 PTFE 波纹管和 Hastelloy C276 阀。ML 版本包括用于冲程调节的机械止动器和用于位置检测的接近开关。

供气压力 0.15-0.4 MPa。可水平或垂直安装。序列号 07103324。

非常适合光刻轨道式系统和精密化学品定量。

拆自正常运行的晶圆厂环境。

产品概述

Iwaki SB-4S-ML（序列号 07103324）是一款精密气动波纹管泵，专为半导体光刻系统中的光刻胶滴胶而设计。

产品规格：

• 排出容量： 15 mL/冲程（额定最大值）

• 工作压力： 最大排出压力 0.05 MPa，供气压力 0.15–0.4 MPa

• 接液端结构： SUS304 不锈钢泵头、PTFE 波纹管（密封）、Hastelloy C276 阀，具备耐化学腐蚀性

• ML 配置： 包括用于微调排出量的机械止动旋钮和用于活塞位置检测的接近开关（限位开关）

• 安装灵活： 可水平或垂直安装

• 无污染设计： 不锈钢/氟材料，死体积极小，焊接波纹管杜绝泄漏

• 典型冲程频率： 2–150 SPM，取决于气压和控制器设置

• 质量： 约 1.5 kg

应用：
SB 系列泵是半导体光刻工艺的行业标准，适用于轨道式系统中的光刻胶涂布、聚酰亚胺滴胶和高纯化学品计量。