Iwaki – Pompe pneumatique à soufflet – SB-4S-ML – Pompe pneumatique à soufflet / distributeur de résine photosensible – d’occasion – 07103324

Description

Pompe pneumatique à soufflet Iwaki SB-4S-ML distributeur de résine photosensible 15mL semi-conducteurs 07103324

Pompe pneumatique à soufflet Iwaki SB-4S-ML pour la distribution de précision de résine photosensible dans la fabrication de semi-conducteurs. Capacité de refoulement maximale 15 mL/course, pression de refoulement maximale 0.05 MPa.

Tête de pompe en acier inoxydable (SUS304) avec soufflet en PTFE et clapet en Hastelloy C276. La version ML comprend une butée mécanique pour le réglage de la course et un détecteur de proximité pour la détection de position.

Pression d’air d’alimentation 0.15-0.4 MPa. Montage horizontal ou vertical possible. Numéro de série 07103324.

Idéale pour les lignes d’enduction/développement de photolithographie et le dosage chimique de précision.

Démontée d’une fab en fonctionnement.

Résumé du produit

La Iwaki SB-4S-ML (n° de série 07103324) est une pompe pneumatique à soufflet de précision conçue pour la distribution de résine photosensible dans les systèmes de photolithographie de semi-conducteurs.

Caractéristiques du produit :

• Capacité de refoulement : 15 mL/course (max. nominal)

• Pression de service : refoulement 0.05 MPa maximum, air d’alimentation 0.15–0.4 MPa

• Construction côté fluide : tête de pompe en acier inoxydable SUS304, soufflet en PTFE (étanche), clapet en Hastelloy C276 pour la résistance chimique

• Configuration ML : comprend un cadran de butée mécanique pour le réglage fin du volume refoulé et un détecteur de proximité (fin de course) pour la détection de position du piston

• Flexibilité de montage : installation horizontale ou verticale possible

• Conception sans contamination : matériaux inox/fluorés, volume mort minimal, soufflet soudé éliminant les fuites

• Cadence typique : 2–150 SPM selon la pression d’air et les réglages du contrôleur

• Masse : ~1.5 kg

Applications :
Les pompes de la série SB sont une référence du secteur pour les procédés de photolithographie de semi-conducteurs, notamment l’enduction de résine photosensible, la distribution de polyimide et le dosage de produits chimiques de haute pureté dans les lignes d’enduction/développement.