Iwaki – 气动波纹管泵 – SB-4SH-ML – 气动波纹管泵 / 光刻胶分配器-二手 – 09703985

描述

Iwaki SB-4SH-ML 气动波纹管泵 光刻胶分配器 MFG 09703985 半导体

Iwaki SB-4SH-ML 气动波纹管泵，用于半导体制造中的光刻胶滴胶。最大容量 15 mL/冲程，最大压力 0.05 MPa，不锈钢接液部件，水平安装，带机械止动器和开关。

MFG No 09703985。非常适合光刻、轨道式系统和精密化学品定量应用。

Iwaki SB-4SH-ML 是一款气动波纹管泵，专为半导体制造工艺中的光刻胶滴胶而设计。

产品规格

根据技术文档，SB-4SH-ML 具有以下特点：

• 最大排出容量： 15 mL/冲程

• 最大排出压力： 0.05 MPa

• 接液端材料： 不锈钢 (SUS304) 泵头、PTFE 波纹管、Hastelloy C276 阀

• 安装方向： 水平（H 标识）

• 气缸类型： ML（带机械止动器和开关，用于冲程调节和位置检测）

• 供气压力： 0.15 至 0.4 MPa

• 尺寸（ML 型）： 142mm (A) × 39mm (B) × 84mm (C)，总长 280mm，质量 1.4 kg