Cybor – 泵控制器模块 – 527E / 2-610-022-086 – 光刻胶泵控制器-二手 – 034228

描述

Cybor 控制器 Model 527E 泵控制器模块 2-610-022-086 光刻胶 半导体

Cybor 泵控制器模块，型号 527E，零件号 2-610-022-086，序列号 034228。

二手光刻胶泵控制模块，用于半导体光刻应用。增强型 527E 版本，电子架构经过改进。

为轨道式光刻设备中的 Cybor 5000 系列泵系统管理精确的光刻胶和聚酰亚胺滴胶。用于泵驱动定时和压力调节的电子控制接口。

原拆自运行中的半导体晶圆厂环境。仅模块，不含泵。

产品概述

Cybor Model 527E（零件号 2-610-022-086，序列号 034228）是一款增强型光刻胶泵控制器模块，适用于半导体光刻中使用的 Cybor 5000 系列光刻胶滴胶系统。

主要规格：

• 型号标识： 527E（Model 527 的增强/改进版本）

• 控制功能： 为轨道式光刻设备管理精确的光刻胶和聚酰亚胺滴胶

• 应用： 半导体光刻和光刻胶涂布工艺

• 接口： 电子控制模块，具备泵驱动定时、压力调节和回吸逻辑

• 兼容性： 适用于 Cybor 5000 系列泵系统（型号 5016、5026、5116、5126、5330 等）