维修服务
Spin Coater 维修与维护
为 Convac、SUSS MicroTec、B.L.E. 和 SSE 的手动及自动 Spin Coater 提供维修、大修和升级,包括原厂已不再支持的设备。
旋涂电机
维修旋涂电机及其控制器,备件现货。
吸盘
适用于圆形和方形基片的真空吸盘。
涂胶碗与点胶臂
重建涂胶碗和点胶臂。
升级
为方形基片加装空气阻隔板和顶针,适用于 2 至 16 英寸。
我们服务的 Spin Coater
- Convac 手动 Spin Coater,如 1001、301 和 501
- Convac M2000 和 M6000 涂胶模块
- SUSS MicroTec RC8、Delta 和 Gamma
- B.L.E. 手动 Spin Coater 和 Delta 涂胶机
- 用于大尺寸方形基片的 SSE Opticoat
旋涂电机、电机控制器、吸盘等备件均来自我们的自有库存,因此许多维修可以在短时间内完成。

流程
维修流程
描述您的 Spin Coater
请告诉我们制造商、型号和故障情况,附上照片或短视频更好。
检测与报价
我们在现场或根据您的描述评估故障,并如实告诉您哪些值得维修。
维修、升级与测试
更换磨损部件,重建或升级模块,并对 Spin Coater 进行测试。
常见问题
关于 Spin Coater 维修的问题
你们维修哪些 Spin Coater?
Convac、SUSS MicroTec、B.L.E. 和 SSE 的手动及自动 Spin Coater,包括涂胶显影轨道式系统中的涂胶模块。
你们能维修旋涂电机及其控制器吗?
可以。我们维修旋涂电机及其控制器,并有备用电机和控制器现货,例如 Metronix 的产品。
我的 Spin Coater 能升级以处理方形基片吗?
可以。我们加装空气阻隔板、顶针和方形基片吸盘。硬件升级适用于 2 英寸及以下至 16 英寸的圆形或方形基片,无需更改软件。
你们提供上门服务吗?
是的。我们在全球范围内提供现场故障排查,并在位于斯图加特附近 Remseck am Neckar 的车间翻新模块。
维修申请
告诉我们您的 Spin Coater 情况
请告诉我们制造商、型号和故障情况。我们将回复检测结果和报价。