维修服务

Spin Coater 维修与维护

为 Convac、SUSS MicroTec、B.L.E. 和 SSE 的手动及自动 Spin Coater 提供维修、大修和升级,包括原厂已不再支持的设备。

旋涂电机

维修旋涂电机及其控制器,备件现货。

吸盘

适用于圆形和方形基片的真空吸盘。

涂胶碗与点胶臂

重建涂胶碗和点胶臂。

升级

为方形基片加装空气阻隔板和顶针,适用于 2 至 16 英寸。

我们服务的 Spin Coater

  • Convac 手动 Spin Coater,如 1001、301 和 501
  • Convac M2000 和 M6000 涂胶模块
  • SUSS MicroTec RC8、Delta 和 Gamma
  • B.L.E. 手动 Spin Coater 和 Delta 涂胶机
  • 用于大尺寸方形基片的 SSE Opticoat

旋涂电机、电机控制器、吸盘等备件均来自我们的自有库存,因此许多维修可以在短时间内完成。

加装空气阻隔板和顶针的升级版 B.L.E. Spin Coater,适用于方形基片

流程

维修流程

检测与报价

我们在现场或根据您的描述评估故障,并如实告诉您哪些值得维修。

维修、升级与测试

更换磨损部件,重建或升级模块,并对 Spin Coater 进行测试。

常见问题

关于 Spin Coater 维修的问题

你们维修哪些 Spin Coater?

Convac、SUSS MicroTec、B.L.E. 和 SSE 的手动及自动 Spin Coater,包括涂胶显影轨道式系统中的涂胶模块。

你们能维修旋涂电机及其控制器吗?

可以。我们维修旋涂电机及其控制器,并有备用电机和控制器现货,例如 Metronix 的产品。

我的 Spin Coater 能升级以处理方形基片吗?

可以。我们加装空气阻隔板、顶针和方形基片吸盘。硬件升级适用于 2 英寸及以下至 16 英寸的圆形或方形基片,无需更改软件。

你们提供上门服务吗?

是的。我们在全球范围内提供现场故障排查,并在位于斯图加特附近 Remseck am Neckar 的车间翻新模块。

维修申请

告诉我们您的 Spin Coater 情况

请告诉我们制造商、型号和故障情况。我们将回复检测结果和报价。

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com