备件

传统光刻设备备件

800 多种二手、全新库存及翻新零件,适用于 SUSS MicroTec、Convac、BLE、SSE 和 SVG 的涂胶机、显影机、热板和旋涂设备。可按零件号、制造商或设备平台搜索。

控制电子与电路板

PMA 控制模块、Lippert/ISA 板卡、接口卡、电源与控制板、PLC 模块

446 件

电机、驱动与运动控制

旋涂电机、Metronix 旋涂控制器、伺服电机、电机驱动器、编码器、皮带

214 件

晶圆吸盘、嵌件与真空部件

真空吸盘、晶圆吸盘、吸盘嵌件、定中件、真空接头、密封件

17 件

涂胶机与 Spin Coater 部件

涂胶杯、旋转组件、点胶部件、盖板、防溅罩、 Spin Coater 配件

45 件

显影、湿法工艺与化学品处理

显影部件、湿法工作台、泵、阀门、化学品管路、过滤器、歧管、喷嘴

35 件

热板、冷板与热控部件

热板、冷板、加热器、温度传感器、热销、控制器、顶针

37 件

气动、真空与流体部件

气缸、电磁阀、调压阀、阀门、真空泵、接头、软管、流量部件

23 件

冷水机、冷却与温控

Julabo 冷水机、冷水机、制冷部件、冷却泵、热交换器、温控模块

15 件

机械组件与工装

盖板、支架、框架、销钉组件、升降机构、适配器、夹具、维修工具

1 件

成色等级

成色标注的含义

每个商品都注明了零件成色。如需更多信息(照片、测试记录或来源),请随时联系我们。

全新库存

未使用的库存零件,多数为原包装。

翻新

售前经过检修和检查,必要时更换了易损件。

二手(已测试)

来自正常运行设备的二手零件,售前经过功能测试。

二手(未测试)

从设备上拆下,未经测试。成色以商品描述为准。

仅供拆件 / 故障品

有故障或不完整——用于维修、拆件或作为零件来源。

再制造

按原厂规格重新制造,已更换磨损部件。

为什么选择 APEX

来自维护这些设备的专业团队

清晰的成色等级

从全新库存到仅供拆件:下单前即可了解零件状况。

维修与更换

许多模块可以维修或以旧换新,而无需购买新件。我们的服务团队熟悉这些设备。

协助寻源

没有找到零件?请发送零件号给我们——实际库存往往多于网上所列。

了解我们的服务

常见问题

备件常见问题

如何按零件号查找零件?

在本页顶部的搜索框中输入 OEM 零件号。搜索范围包括商品标题、描述和已登记的零件号。您也可以按类别、制造商或设备平台浏览。

我需要的零件没有列出,你们还能帮忙吗?

可以。网上只展示了部分库存,我们还可以通过合作网络寻找零件。请发送零件号、设备型号,如有可能请附上照片。

零件经过测试吗?

每个商品都注明了成色。“二手(已测试)”表示经过功能测试;“二手(未测试)”表示未经测试。如需了解具体零件的详情,请联系我们。

“按需询价”是什么意思?

该零件无法立即供货,或价格取决于配置。请发送询价,我们会回复供货情况和报价。

你们能维修或更换有故障的模块吗?

对于许多电路板、电机、控制器和热板,我们提供维修或以旧换新服务。请告知零件号并描述故障情况。

联系我们

没有找到您需要的零件?

请告诉我们零件号、设备型号和数量。我们会核查库存和合作网络,并回复供货情况和报价。

+49 170 28 444 35
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