Cybor – 泵控制器模块 – 527E / 2-610-022-086 – 光刻胶泵控制器-二手 – 030681

描述

Cybor 控制器 Model 527E 泵控制器模块 2-610-022-086 光刻胶 半导体

Cybor 泵控制器模块，型号 527E，零件号 2-610-022-086，序列号 030681。

二手光刻胶泵控制模块，用于半导体光刻应用。

增强型 527E 版本，电子架构经过改进。为轨道式光刻设备中的 Cybor 5000 系列泵系统管理精确的光刻胶和聚酰亚胺滴胶。

用于泵驱动定时和压力调节的电子控制接口。

原拆自运行中的半导体晶圆厂环境。仅模块，不含泵。