Cybor – Module contrôleur de pompe – 527E / 2-610-022-086 – Contrôleur de pompe à résine photosensible – d’occasion – 030681

Description

Contrôleur Cybor modèle 527E module contrôleur de pompe 2-610-022-086 résine photosensible semi-conducteurs

Module contrôleur de pompe Cybor modèle 527E, référence 2-610-022-086, numéro de série 030681.

Module de commande de pompe à résine photosensible d’occasion pour les applications de photolithographie de semi-conducteurs.

Version améliorée 527E avec une architecture électronique perfectionnée. Gère la distribution précise de résine photosensible et de polyimide pour les systèmes de pompes Cybor série 5000 des équipements de lithographie à ligne d’enduction/développement.

Interface de commande électronique pour la temporisation de l’actionnement de la pompe et la régulation de pression.

Démonté à l’origine d’une fab de semi-conducteurs en fonctionnement. Module seul, pompe non incluse.