Convac
Convac M6000 : service, réparation et pièces de rechange
Service, réparation et pièces de rechange pour les lignes Convac M6000 d'enduction, de développement et de lift-off – y compris la calibration et le réglage fin de systèmes complets.
Enduction, développement, lift-off
Lignes M6000 dans les trois configurations.
Calibration
Systèmes complets calibrés et réglés finement.
Robots et manutention
Robots indexeurs frogleg et indexeurs de cassettes.
Pièces de rechange en stock
Plaques chauffantes, chucks, moteurs de spin et cartes.
Nos prestations sur le Convac M6000
Nous sommes intervenus sur des lignes M6000 dans de nombreuses configurations, par exemple un double enducteur GaAs avec deux plaques chauffantes et une plaque de refroidissement construit en 1993, et une ligne d'enduction/développement spéciale avec deux plaques chauffantes, une pile HMDS, deux plaques de refroidissement, trois robots indexeurs frogleg et deux indexeurs de cassettes. Sur cette ligne, toutes les fonctions pneumatiques étaient hors service et les mouvements étaient trop rapides ou trop lents. Nous avons calibré et réglé finement l'équipement, qui est retourné en production.
- Calibration et réglage fin de lignes M6000 complètes
- Réparation des fonctions pneumatiques et de la temporisation des mouvements
- Service des robots indexeurs frogleg et des indexeurs de cassettes
- Réparation des modules plaque chauffante, plaque de refroidissement et HMDS
- Chucks de développeur à contact par le bord uniquement, pour une face arrière du wafer sans particules
Pièces de rechange Convac M6000 en stock
Pièces pour lignes M6000 issues de notre stock. Contactez-nous si la pièce dont vous avez besoin ne figure pas dans la liste.
FAQ
Questions fréquentes
Pouvez-vous remettre une ligne M6000 en production ?
Oui. Nous avons calibré et réglé finement des lignes M6000 dont la pneumatique et la temporisation des mouvements étaient défaillantes, puis les avons remises en production.
Prenez-vous en charge les lignes de lift-off M6000 ?
Oui. Nous assurons le service des lignes M6000 d'enduction, de développement et de lift-off.
Avez-vous des pièces de rechange pour le M6000 ?
Oui. Nous avons en stock des pièces telles que plaques chauffantes, chucks, moteurs de spin, robots et cartes de commande.
Parlez-nous de votre Convac M6000
Envoyez-nous la configuration de la ligne, la panne et vos délais. Nous vous répondons avec une évaluation, les pièces disponibles en stock et un devis.