Cybor – 泵控制器模块 – 00527-05 / Model 527 – 光刻胶泵控制器-故障 – 003924

描述

Cybor 泵控制器 型号 00527-05 光刻胶滴胶控制模块 半导体 18VDC

Cybor 泵控制器模块，型号 00527-05，序列号 003924。

二手光刻胶滴胶系统控制器，用于半导体光刻应用。采用 18VDC 电源供电运行。

为轨道式光刻系统管理精确的光刻胶和聚酰亚胺滴胶。包括用于泵驱动、定时和压力调节的电子控制接口。

原拆自运行中的半导体晶圆厂环境。仅模块，不含泵。故障

产品概述

Cybor Model 00527-05 是一款光刻胶泵控制器模块（也称为 Model 527，Revision 05），专为半导体光刻系统设计。

主要规格：

• 电源： 18VDC 运行

• 应用： 控制 Cybor 5000 系列光刻胶滴胶泵

• 功能： 为轨道式光刻设备管理精确的光刻胶和聚酰亚胺滴胶量

• 接口： 用于泵驱动、定时和压力调节的电子控制模块

• 兼容性： 适用于半导体制造晶圆厂中的 Cybor 光刻胶泵系统