Cybor – Module contrôleur de pompe – 527E / 2-610-022-086 – Contrôleur de pompe à résine photosensible – d’occasion – 034228

Description

Contrôleur Cybor modèle 527E module contrôleur de pompe 2-610-022-086 résine photosensible semi-conducteurs

Module contrôleur de pompe Cybor modèle 527E, référence 2-610-022-086, numéro de série 034228.

Module de commande de pompe à résine photosensible d’occasion pour les applications de photolithographie de semi-conducteurs. Version améliorée 527E avec une architecture électronique perfectionnée.

Gère la distribution précise de résine photosensible et de polyimide pour les systèmes de pompes Cybor série 5000 des équipements de lithographie à ligne d’enduction/développement. Interface de commande électronique pour la temporisation de l’actionnement de la pompe et la régulation de pression.

Démonté à l’origine d’une fab de semi-conducteurs en fonctionnement. Module seul, pompe non incluse.

Résumé du produit

Le Cybor Model 527E (référence 2-610-022-086, n° de série 034228) est un module contrôleur de pompe à résine photosensible amélioré pour les systèmes de distribution de résine photosensible Cybor série 5000 utilisés en photolithographie de semi-conducteurs.

Caractéristiques principales :

• Désignation du modèle : 527E (version améliorée/révisée du Model 527)

• Fonction de commande : gère la distribution précise de résine photosensible et de polyimide pour les équipements de lithographie à ligne d’enduction/développement

• Application : photolithographie de semi-conducteurs et procédés d’enduction de résine photosensible

• Interface : module de commande électronique avec temporisation de l’actionnement de la pompe, régulation de pression et logique d’aspiration en retour (suckback)

• Compatibilité : fonctionne avec les systèmes de pompes Cybor série 5000 (modèles 5016, 5026, 5116, 5126, 5330, etc.)