Support für Altanlagen
SSE / ATMSSE
Ersatzteile, Service und Upgrades
Maximus 804
Belacker-/Entwickler- und Lift-Off-Tracks für 3″- bis 8″-Wafer.
Opticoat
Belackung großer quadratischer Substrate bis 16″ und größer.
Reparatur von Stationen
Belackungs-, Entwicklungs-, Hotplate- und Coolplate-Stationen.
Abgekündigte Teile
PMA-Module, Metronix-Spin-Controller und Spinmotoren.
SSE-Geschichte
SSE entwickelt, produziert und vertreibt modernste Fertigungsanlagen für die Halbleiter-, Telekommunikations-/Optoelektronikmärkte und Flachbildschirme (FPD).
Dank innovativer Technik und umfassender Kenntnisse des Halbleiterherstellungsprozesses ist SSE in der Lage, Standard- und kundenspezifische Lösungen zu liefern, die andere Investitionsgüterhersteller nicht anbieten können.
Die Produkte von SSE lassen sich in drei Kategorien einteilen:
- Halbautomatische Wafer- und Substratverarbeitungsanlagen (für Labors)
- Automatisierte Photoresist-Verarbeitungsanlagen
- Anlagen für Wafer-Mounting und Wafer-Vorbereitung
SSE-Dienstleistungen
Wir warten verschiedene SSE Sister Semiconductor Equipment GmbH / ATM SSE Maschinen weltweit:
- Maximus 804 Belacker-, Entwickler- und Lift-Off-Tracks
- Optiwet
- Opticoat
- Optihot
Wir reparieren und überholen alle Stationen wie Belacker-, Entwickler-, Heizplatten- und Kühlplattenstationen.
Unser umfangreiches Ersatzteillager umfasst PMA-Steuerungsmodule, Metronix-Spin-Controller, Spinmotoren und eine große Anzahl abgekündigter Teile.
Modellseiten: SSE Maximus 804
SSE-Projekte
Maximus 804 Belacker-/Entwicklersystem mit entweder Genmark Roboter oder Isel Roboter.
Dieses System ist ähnlich wie die Gamma 60/80 von Suss Microtec. Der Maximus kann Wafer von 3″ bis 8″ bearbeiten. Mit seinem Closed Cover Chuck kann eine bessere Gleichmäßigkeit auf quadratischen Substraten erreicht werden.
Open-Bowl-Belacker mit schrittmotorgetriebenem Dosierarm.
Die Hebestifte übergeben den Wafer nach Prozessende zurück an den Endeffektor des Roboters.
Optiwet Entwickler-, Ätz- und Reinigungssystem für große Substrate
Manuelles Laden. Schrittmotorgetriebene Dosierarme.
SSE Opticoat 75
Die Maschinen sind für die Belackung großer quadratischer Substrate bis zu 16″ oder größer geeignet.
Die Maschine verfügt über eine servomotorisch angetriebene Luftbarriereplatte, die sich über dem Chuck schließt, um bessere Belackungsergebnisse ähnlich dem Gyrset-Effekt von Suss Microtec zu erzielen.
Der Dosierarm ist programmierbar, wird aber in den meisten FABs nicht verwendet.
Optiwet Prozesskammer
Optiwet Prozesskammer mit 2 Dosierarmen und verschiedenen Düsen für DI-Wasser, Reinigungs- oder Ätzmedien sowie N2- oder CDA-Trockenschleudern. Eine Rückseitenspülung ist ebenfalls verfügbar. Das Abfallmanagement des Optiwet ist integriert, um DI-Wasser und Prozessmedien zu trennen.
Video
SSE / ATMSSE
Kontakt
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Nennen Sie uns Anlage, Fehlerbild und Zeitrahmen. Wir antworten mit einer Einschätzung, den vorrätigen Teilen und dem Aufwand für Reparatur oder Upgrade.