SSE · ATMSSE
SSE Maximus 804 : service et pièces de rechange
Service, réparation de stations et pièces de rechange pour les lignes SSE / ATMSSE Maximus 804 d'enduction, de développement et de lift-off.
Wafers de 3″ à 8″
Lignes d'enduction, de développement et de lift-off.
Réparation de stations
Stations d'enduction, de développement, plaque chauffante et plaque de refroidissement.
Robots
Robots de manutention de wafers Genmark ou Isel.
Pièces obsolètes
Modules PMA, contrôleurs Metronix, moteurs de spin.
Nos prestations sur le Maximus 804
Le Maximus 804 est un système d'enduction/développement équipé d'un robot Genmark ou Isel, similaire au SUSS Gamma 60/80. Il traite des wafers de 3″ à 8″. Son chuck à couvercle fermé offre une meilleure uniformité sur les substrats carrés, et l'enducteur à cuve ouverte dispose d'un bras de distribution entraîné par moteur pas à pas. Après le process, des picots de levage rendent le wafer à l'effecteur du robot.
- Réparation et remise en état des stations d'enduction, de développement, plaque chauffante et plaque de refroidissement
- Service des robots de manutention de wafers Genmark et Isel
- Bras de distribution entraînés par moteur pas à pas
- Modules contrôleurs PMA, contrôleurs de spin Metronix et moteurs de spin en stock
- Chucks à couvercle fermé pour substrats carrés
Pièces de rechange SSE en stock
Pièces pour équipements SSE et ATMSSE issues de notre stock. Contactez-nous si la pièce dont vous avez besoin ne figure pas dans la liste.
FAQ
Questions fréquentes
Quelles tailles de wafers le Maximus 804 traite-t-il ?
Le Maximus 804 traite des wafers de 3″ à 8″. Grâce à son chuck à couvercle fermé, il offre aussi une meilleure uniformité sur les substrats carrés.
Quels robots le Maximus 804 utilise-t-il ?
Soit un robot de manutention de wafers Genmark, soit un robot Isel. Nous assurons le service des deux, et des robots ISEL sont parfois disponibles d'occasion.
Avez-vous des pièces de rechange pour les équipements SSE ?
Oui. Notre stock comprend des modules contrôleurs PMA, des contrôleurs de spin Metronix, des moteurs de spin et de nombreuses pièces obsolètes.
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Envoyez-nous la configuration de la ligne, la panne et vos délais. Nous vous répondons avec une évaluation, les pièces disponibles en stock et un devis.