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Ersatzteile für Lithografie-Altanlagen

Ersatzteile für Convac-, SUSS-MicroTec-, B.L.E.-, SSE-, SVG- und weitere ältere Lithografie-Anlagen. Suchen Sie nach OEM-Teilenummer, Modell oder Stichwort, oder grenzen Sie mit den Filtern nach Hersteller, Plattform und Zustand ein.

Steuerelektronik & Leiterplatten

PMA-Reglermodule, Lippert-/ISA-Karten, Schnittstellenkarten, Netz- und Steuerplatinen, SPS-Module

446 Teile

Motoren, Antriebe & Bewegungssteuerung

Spinmotoren, Metronix-Spincontroller, Servomotoren, Motortreiber, Encoder, Riemen

214 Teile

Wafer-Chucks, Einlagen & Vakuumteile

Vakuum-Chucks, Wafer-Chucks, Chuck-Einlagen, Zentrierteile, Vakuumverschraubungen, Dichtungen

17 Teile

Belacker- & Spin-Coater-Teile

Belacker-Becher, Spin-Baugruppen, Dispense-Komponenten, Deckel, Spritzschutz, Spinner-Zubehör

45 Teile

Entwickler, Nassprozess & Chemikalienhandling

Entwicklerteile, Nassbänke, Pumpen, Ventile, Chemikalienleitungen, Filter, Verteiler, Düsen

35 Teile

Hotplate-, Coolplate- & Thermoteile

Hotplates, Coolplates, Heizungen, Temperatursensoren, Thermostifte, Regler, Hubstifte

37 Teile

Pneumatik, Vakuum & Fluidtechnik

Zylinder, Magnetventile, Regler, Ventile, Vakuumpumpen, Verschraubungen, Schläuche, Durchflusskomponenten

23 Teile

Kältemaschinen, Kühlung & Temperierung

Julabo-Umlaufkühler, Kältemaschinen, Kälteteile, Kühlpumpen, Wärmetauscher, Temperiermodule

15 Teile

Mechanische Baugruppen & Werkzeuge

Abdeckungen, Halterungen, Rahmen, Stift-Baugruppen, Hubmechanismen, Adapter, Vorrichtungen, Servicewerkzeuge

1 Teil

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