APEX Semiconductor
Über uns
Ersatzteile, Service und Upgrades
Seit 1999
Wir betreuen Lithografie-Anlagen seit August 1999.
400 m² Ersatzteillager
Neue und gebrauchte Ersatzteile, von Spinmotoren bis Platinen.
Substrate von 2″ bis 16″
Rund und eckig, von 2″ und kleiner bis 16″.
Anlagen ohne OEM-Support
SUSS, Convac, SSE, B.L.E., SVG und weitere.
Wer wir sind
Die APEX Semiconductor GmbH ist ein Service- und Lösungsanbieter für die Halbleiterindustrie. Wir reparieren und warten, rüsten auf oder optimieren photolithographische Maschinen weltweit.
Seit August 1999 betreuen wir ein breites Spektrum an Lithografieanlagen von OEMs, die nicht mehr existieren (z.B. Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac)), oder deren OEMs den Support aufgrund des Alters der Systeme eingestellt haben.
Anlagen, die wir betreuen
Für eine breite Palette von Modellen bieten wir die folgenden Dienstleistungen und Ersatzteile an:
- Karl Suss ACS 200 Classic, Belacker, Entwickler, Heizplatte, Kühlplatte, VPO-Tracks
- Karl Suss RC8 Standalone-Belacker, Heizplatten-Anlagen
- Suss Microtec Gamma 60 und 80, ACS 200+, Delta Belacker, Entwickler oder Tischgerät
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Belacker, Entwickler, Heizplatte, Kühlplatte, HMDS, VPO, Lift-Off
- Convac M6000 Belacker, Entwickler, HMDS, Heizplatte, Reiniger, Lift-Off, Ätzer usw.
- Convac M2000 Belacker, Entwicklertracks und alle anderen manuellen Anlagen
- Convac manuelle, eigenständige Prozessmaschinen
- Convac APT-Systeme
- B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
- SSE und ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
- SVG 90s Tracks und andere SVG-Anlagen, Belacker, Entwickler, Heizplatte, Kühlplatte,
- Semitek, Hamatech
- KLA 21xx
Service und Ersatzteillager
Unsere Dienstleistungen umfassen die folgenden Bereiche:
- Fehlerbehebung vor Ort
- Vor-Ort-Eskalationsdienst
- Online-Unterstützung
- Überholungen und Aufarbeitungen von Maschinen und Subsystemen, z.B. Genmark-Roboter, Isel-Roboter und Frogleg-Roboter, einzelne Prozessmodule wie Heizplatten, Kühlplatten, Belackerstationen etc.
- Reparatur elektrischer, mechanischer und pneumatischer Komponenten
- Installations- und Deinstallationsservice
- Umzugsservice für Prozessanlagen
- Prozessunterstützung und -optimierung
- Inspektion beim Lieferanten
- Upgrades
- Wir sind auch in der Lage, spezialisierten Service für KLA 21xx Support und Ersatzteile anzubieten.
Dank unserer langjährigen Branchenerfahrung mit runden und quadratischen Substraten von 2″ und kleiner bis 16″ können wir Upgrades anbieten, bei denen wir die Hardware ohne Softwareänderungen umkonstruieren.
Wir verfügen außerdem über ein umfangreiches Lager (400 Quadratmeter) mit neuen und gebrauchten Ersatzteilen: verschiedene Spinmotoren, Spin-Controller (Novotron ND 21- 31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix …), CPU-Einheiten für Convac, SSE (PMA PU 104 …), Convac-Platinen, SVG-Platinen, SSE-Platinen usw., elektrische Teile, mechanische Teile und Baugruppen …
Wenn Sie eine ältere Belacker-/Entwickleranlage haben und das System leichte oder schwerwiegende Probleme aufweist oder Sie einfach Unterstützung für eine ältere Prozessmaschine suchen, rufen Sie uns bitte an. Wir unterstützen Sie gerne.
Kontakt
Wenden Sie sich an uns, wenn Sie schnelle Hilfe für Ihre fotolithografischen Maschinen benötigen
Nennen Sie uns Anlage, Fehlerbild und Zeitrahmen. Wir antworten mit einer Einschätzung, den vorrätigen Teilen und dem Aufwand für Reparatur oder Upgrade.