Iwaki – Pneumatische Faltenbalgpumpe – SB-4S-ML – Pneumatische Faltenbalgpumpe / Fotolack-Dispenser-gebraucht – 07103324

Beschreibung

Iwaki SB-4S-ML Pneumatische Faltenbalgpumpe Fotolack-Dispenser 15mL Halbleiter 07103324

Iwaki SB-4S-ML pneumatische Faltenbalgpumpe zur präzisen Fotolackdosierung in der Halbleiterfertigung. Max. Fördervolumen 15 mL/Hub, max. Förderdruck 0.05 MPa.

Pumpenkopf aus Edelstahl (SUS304) mit PTFE-Faltenbalg und Ventil aus Hastelloy C276. Die ML-Version umfasst einen mechanischen Anschlag zur Hubeinstellung und einen Näherungsschalter zur Positionserkennung.

Versorgungsluftdruck 0.15-0.4 MPa. Horizontal oder vertikal montierbar. Seriennummer 07103324.

Ideal für Fotolithografie-Track-Systeme und präzise Chemikaliendosierung.

Aus einer laufenden Fab-Umgebung ausgebaut.

Produktübersicht

Die Iwaki SB-4S-ML (Serien-Nr. 07103324) ist eine pneumatische Präzisions-Faltenbalgpumpe für die Fotolackdosierung in Systemen der Halbleiter-Fotolithografie.

Produktspezifikationen:

• Fördervolumen: 15 mL/Hub (Nennmaximum)

• Betriebsdruck: max. Förderdruck 0.05 MPa, Versorgungsluft 0.15–0.4 MPa

• Aufbau der medienberührten Teile: Pumpenkopf aus Edelstahl SUS304, PTFE-Faltenbalg (abgedichtet), Ventil aus Hastelloy C276 für chemische Beständigkeit

• ML-Konfiguration: Mit mechanischem Anschlagrad zur Feineinstellung des Fördervolumens und Näherungsschalter (Endschalter) zur Erkennung der Kolbenposition

• Flexible Montage: Horizontal oder vertikal einbaubar

• Kontaminationsfreies Design: Edelstahl-/Fluorpolymer-Werkstoffe, minimales Totvolumen, geschweißter Faltenbalg verhindert Leckagen

• Typische Hubfrequenz: 2–150 SPM, abhängig von Luftdruck und Controller-Einstellungen

• Masse: ~1.5 kg

Anwendungen:
Pumpen der SB-Serie sind Industriestandard für Prozesse der Halbleiter-Fotolithografie, darunter Fotolackbeschichtung, Polyimid-Dosierung und hochreine Chemikaliendosierung in Track-Systemen.