Cybor – Pumpencontroller-Modul – 527E / 2-610-022-086 – Fotolackpumpen-Controller-gebraucht – 034228

Beschreibung

Cybor Controller Model 527E Pumpencontroller-Modul 2-610-022-086 Fotolack Halbleiter

Cybor Pumpencontroller-Modul Model 527E, Teile-Nr. 2-610-022-086, Seriennummer 034228.

Gebrauchtes Fotolackpumpen-Steuermodul für Anwendungen in der Halbleiter-Fotolithografie. Erweiterte Version 527E mit verbesserter Elektronikarchitektur.

Steuert die präzise Dosierung von Fotolack und Polyimid für Cybor Pumpensysteme der Serie 5000 in trackbasierten Lithografieanlagen. Elektronische Steuerschnittstelle für Pumpenbetätigungs-Timing und Druckregelung.

Ursprünglich aus einer laufenden Halbleiter-Fab-Umgebung ausgebaut. Nur Modul, Pumpe nicht enthalten.

Produktübersicht

Das Cybor Model 527E (Teile-Nr. 2-610-022-086, Serien-Nr. 034228) ist ein erweitertes Fotolackpumpen-Controller-Modul für Cybor Fotolack-Dosiersysteme der Serie 5000 in der Halbleiter-Fotolithografie.

Wichtige Spezifikationen:

• Modellbezeichnung: 527E (erweiterte/überarbeitete Version des Model 527)

• Steuerfunktion: Steuert die präzise Dosierung von Fotolack und Polyimid für trackbasierte Lithografieanlagen

• Anwendung: Halbleiter-Fotolithografie und Fotolack-Beschichtungsprozesse

• Schnittstelle: Elektronisches Steuermodul mit Pumpenbetätigungs-Timing, Druckregelung und Rücksauglogik (Suckback)

• Kompatibilität: Funktioniert mit Cybor Pumpensystemen der Serie 5000 (Modelle 5016, 5026, 5116, 5126, 5330 usw.)