Ersatzteile

Ersatzteile für bewährte Lithografieanlagen

Über 800 gebrauchte, neue Überbestands- und überholte Teile für Belacker, Entwickler, Hotplates und Spin-Prozessoren von SUSS MicroTec, Convac, BLE, SSE und SVG. Suche nach Teilenummer, Hersteller oder Anlagenplattform.

Steuerelektronik & Leiterplatten

PMA-Reglermodule, Lippert-/ISA-Karten, Schnittstellenkarten, Netz- und Steuerplatinen, SPS-Module

446 Teile

Motoren, Antriebe & Bewegungssteuerung

Spinmotoren, Metronix-Spincontroller, Servomotoren, Motortreiber, Encoder, Riemen

214 Teile

Wafer-Chucks, Einlagen & Vakuumteile

Vakuum-Chucks, Wafer-Chucks, Chuck-Einlagen, Zentrierteile, Vakuumverschraubungen, Dichtungen

17 Teile

Belacker- & Spin-Coater-Teile

Belacker-Becher, Spin-Baugruppen, Dispense-Komponenten, Deckel, Spritzschutz, Spinner-Zubehör

45 Teile

Entwickler, Nassprozess & Chemikalienhandling

Entwicklerteile, Nassbänke, Pumpen, Ventile, Chemikalienleitungen, Filter, Verteiler, Düsen

35 Teile

Hotplate-, Coolplate- & Thermoteile

Hotplates, Coolplates, Heizungen, Temperatursensoren, Thermostifte, Regler, Hubstifte

37 Teile

Pneumatik, Vakuum & Fluidtechnik

Zylinder, Magnetventile, Regler, Ventile, Vakuumpumpen, Verschraubungen, Schläuche, Durchflusskomponenten

23 Teile

Kältemaschinen, Kühlung & Temperierung

Julabo-Umlaufkühler, Kältemaschinen, Kälteteile, Kühlpumpen, Wärmetauscher, Temperiermodule

15 Teile

Mechanische Baugruppen & Werkzeuge

Abdeckungen, Halterungen, Rahmen, Stift-Baugruppen, Hubmechanismen, Adapter, Vorrichtungen, Servicewerkzeuge

1 Teil

Zustandsangaben

Was unsere Zustandsangaben bedeuten

Jedes Angebot nennt den Zustand des Teils. Wenn Sie mehr wissen möchten – Fotos, Prüfprotokolle oder die Herkunft eines Teils – fragen Sie uns einfach.

Neu (Überbestand)

Unbenutzte Teile aus Überbeständen, oft in Originalverpackung.

Überholt

Vor dem Verkauf überholt und geprüft; Verschleißteile bei Bedarf ersetzt.

Gebraucht, getestet

Gebrauchte Teile aus laufenden Anlagen, vor dem Verkauf funktionsgeprüft.

Gebraucht, ungetestet

Aus Anlagen ausgebaut, aber nicht getestet. Zustand wie im Angebot beschrieben.

Für Ersatzteile / defekt

Defekt oder unvollständig – zur Reparatur, zum Ausschlachten oder als Teilespender.

Neu aufgebaut

Nach Originalspezifikation neu aufgebaut, Verschleißteile ersetzt.

Warum APEX

Ersatzteile von Leuten, die diese Anlagen warten

Klare Zustandsangaben

Von neuem Überbestand bis Teilespender: Sie wissen vor der Bestellung, was Sie bekommen.

Reparatur und Austausch

Viele Baugruppen lassen sich reparieren oder tauschen statt neu kaufen. Unser Serviceteam kennt die Anlagen.

Hilfe bei der Beschaffung

Teil nicht gelistet? Schicken Sie uns die Teilenummer – oft haben wir mehr auf Lager als online.

Mehr über unseren Service

FAQ

Fragen zu Ersatzteilen

Wie finde ich ein Teil über die Teilenummer?

Geben Sie die OEM-Teilenummer in die Suche oben auf dieser Seite ein. Die Suche prüft Produkttitel, Beschreibungen und die hinterlegten Teilenummern. Sie können auch nach Kategorie, Hersteller oder Anlagenplattform stöbern.

Das gesuchte Teil ist nicht gelistet. Können Sie trotzdem helfen?

Ja. Nur ein Teil unseres Lagers ist online, und über unser Netzwerk können wir viele Teile beschaffen. Schicken Sie uns Teilenummer, Anlagentyp und wenn möglich ein Foto.

Sind die Teile getestet?

Der Zustand steht in jedem Angebot. „Gebraucht, getestet“ bedeutet funktionsgeprüft; „Gebraucht, ungetestet“ wurde nicht geprüft. Fragen Sie uns, wenn Sie Details zu einem bestimmten Teil brauchen.

Was bedeutet „Auf Anfrage“?

Das Teil ist nicht sofort verfügbar oder der Preis hängt von der Konfiguration ab. Senden Sie uns eine Anfrage – wir melden uns mit Verfügbarkeit und Angebot.

Können Sie eine defekte Baugruppe reparieren oder tauschen?

Für viele Platinen, Motoren, Controller und Hotplates bieten wir Reparatur oder ein Austauschteil an. Nennen Sie uns die Teilenummer und beschreiben Sie den Fehler.

Kontakt

Ihr Teil ist nicht dabei?

Nennen Sie uns Teilenummer, Anlage und Stückzahl. Wir prüfen Lager und Netzwerk und melden uns mit Verfügbarkeit und Angebot.

+49 170 28 444 35
info@apex-semiconductor.com