ATV – PEO 603
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Beschreibung
Der ATV ist ein Rohrofen, der für Oxidation, Dotierung und Temperprozesse eingesetzt werden kann. Für empfindliche Prozesse werden Prozess-Liner verwendet, um Kreuzkontamination zu vermeiden. Derzeit unterstützt das System Nass-/Trockenoxidation und Tempern von 4″-Wafern und Bruchstücken.
Niederdruckprozesse werden ebenfalls unterstützt.
Zusätzliche Informationen
| Marke | ATV |
|---|---|
| Location | |
| Manufacturer | |
| Model | |
| Zustand | Gebraucht, ungetestet |
| Verfügbarkeit | Auf Lager |
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