SSE · ATMSSE
SSE Maximus 804 Service und Ersatzteile
Service, Stationsreparatur und Ersatzteile für SSE / ATMSSE Maximus 804 Belacker-, Entwickler- und Lift-Off-Tracks.
3″ bis 8″ Wafer
Belacker-, Entwickler- und Lift-Off-Tracks.
Stationsreparatur
Belacker-, Entwickler-, Hotplate- und Coolplate-Stationen.
Roboter
Genmark- oder Isel-Wafer-Handling-Roboter.
Obsolete Teile
PMA-Module, Metronix-Controller, Spinmotoren.
Unsere Leistungen für die Maximus 804
Die Maximus 804 ist ein Belacker-/Entwickler-System mit einem Genmark- oder einem Isel-Roboter, ähnlich der SUSS Gamma 60/80. Sie verarbeitet Wafer von 3″ bis 8″. Ihr Closed-Cover-Chuck sorgt für eine bessere Gleichmäßigkeit auf quadratischen Substraten, und der Open-Bowl-Belacker hat einen schrittmotorgetriebenen Dispense-Arm. Nach dem Prozess übergeben Hubstifte den Wafer wieder an den Endeffektor des Roboters.
- Reparatur und Überholung von Belacker-, Entwickler-, Hotplate- und Coolplate-Stationen
- Service von Genmark- und Isel-Wafer-Handling-Robotern
- Schrittmotorgetriebene Dispense-Arme
- PMA-Controller-Module, Metronix-Spin-Controller und Spinmotoren ab Lager
- Closed-Cover-Chucks für quadratische Substrate
SSE-Ersatzteile ab Lager
Teile für SSE- und ATMSSE-Anlagen aus unserem Lager. Fragen Sie uns, wenn das benötigte Teil nicht aufgeführt ist.
FAQ
Häufige Fragen
Welche Wafergrößen verarbeitet die Maximus 804?
Die Maximus 804 verarbeitet Wafer von 3″ bis 8″. Mit ihrem Closed-Cover-Chuck erzielt sie zudem eine bessere Gleichmäßigkeit auf quadratischen Substraten.
Welche Roboter verwendet die Maximus 804?
Entweder einen Genmark- oder einen Isel-Wafer-Handling-Roboter. Wir betreuen beide, und ISEL-Roboter sind manchmal gebraucht verfügbar.
Haben Sie Ersatzteile für SSE-Anlagen?
Ja. Unser Lager umfasst PMA-Controller-Module, Metronix-Spin-Controller, Spinmotoren und viele obsolete Teile.
Beschreiben Sie uns Ihre Maximus 804
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